| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 等离子体辅助分子束外延技术 | 第11-13页 |
| 1.3 等离子体源国内外研究现状及发展趋势 | 第13-17页 |
| 1.3.1 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.3.2 发展趋势 | 第16-17页 |
| 1.4 本文研究意义及主要内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第17页 |
| 1.4.2 主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 射频等离子体源总体方案研究 | 第19-28页 |
| 2.1 射频等离子体源工作原理 | 第19-24页 |
| 2.1.1 电感耦合放电 | 第19-21页 |
| 2.1.2 气体高频放电类型 | 第21-22页 |
| 2.1.3 气体击穿判据 | 第22-23页 |
| 2.1.4 射频等离子体源工作过程 | 第23页 |
| 2.1.5 射频匹配网络 | 第23-24页 |
| 2.2 射频等离子体源总体设计方案 | 第24-26页 |
| 2.3 射频等离子体源选材分析 | 第26-27页 |
| 2.3.1 选材要求 | 第26页 |
| 2.3.2 各个零部件选材分析 | 第26-27页 |
| 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 射频等离子体源模拟设计 | 第28-37页 |
| 3.1 模拟软件介绍 | 第28页 |
| 3.2 初步模型建立 | 第28-30页 |
| 3.3 模拟仿真计算 | 第30-36页 |
| 3.3.1 模拟结果及分析 | 第31-32页 |
| 3.3.2 电感线圈匝数对等离子体参数分布的影响 | 第32-34页 |
| 3.3.3 真空放电室尺寸对等离子体参数分布的影响 | 第34-36页 |
| 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 射频等离子体源结构设计 | 第37-53页 |
| 4.1 等离子体产生与发射装置 | 第37-41页 |
| 4.1.1 真空放电室 | 第37-38页 |
| 4.1.2 电感线圈 | 第38页 |
| 4.1.3 电源连接组件 | 第38-41页 |
| 4.2 反应源气体导入装置 | 第41-43页 |
| 4.2.1 三通 | 第41-42页 |
| 4.2.2 双层管组件 | 第42-43页 |
| 4.2.3 密封组件 | 第43页 |
| 4.3 冷却水循环装置 | 第43-44页 |
| 4.3.1 冷却水管选型 | 第43-44页 |
| 4.3.2 冷却水管设计 | 第44页 |
| 4.4 其他装置 | 第44-47页 |
| 4.4.1 支撑装置 | 第44-46页 |
| 4.4.2 屏蔽装置 | 第46页 |
| 4.4.3 观察装置 | 第46-47页 |
| 4.4.4 腔体连接装置 | 第47页 |
| 4.5 装配前处理 | 第47-50页 |
| 4.5.1 污染物形式 | 第48页 |
| 4.5.2 清洁方法 | 第48-50页 |
| 4.6 射频等离子体源装配 | 第50-52页 |
| 4.6.1 真空零部件组装要求 | 第50页 |
| 4.6.2 整体结构组成 | 第50-52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 射频等离子体源性能测试 | 第53-63页 |
| 5.1 测试平台搭建 | 第53-58页 |
| 5.1.1 真空系统 | 第53-55页 |
| 5.1.2 射频电源及其匹配器 | 第55-56页 |
| 5.1.3 冷却水循环系统 | 第56-57页 |
| 5.1.4 气路系统 | 第57-58页 |
| 5.2 射频等离子体源性能测试 | 第58-61页 |
| 5.2.1 射频等离子体源连接 | 第58-59页 |
| 5.2.2 真空准备 | 第59-60页 |
| 5.2.3 测试过程 | 第60-61页 |
| 5.2.4 测试结束 | 第61页 |
| 5.3 测试结果及分析 | 第61-62页 |
| 本章小结 | 第62-63页 |
| 全文总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |