| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 扫描探针显微镜的发展 | 第11-12页 |
| 1.3 原子力显微镜的基本成像原理以及工作模式 | 第12-16页 |
| 1.3.1 针尖与样品之间的相互作用力 | 第12-13页 |
| 1.3.2 原子力显微镜 | 第13-16页 |
| 1.4 静电力显微镜的原理 | 第16-17页 |
| 1.5 Kelvin扫描探针显微镜的相关理论以及工作模式 | 第17-21页 |
| 1.5.1 开尔文方法 | 第18页 |
| 1.5.2 Kelvin扫描探针显微镜的工作原理以及工作模式 | 第18-21页 |
| 1.5.3 Kelvin扫描探针显微镜的应用 | 第21页 |
| 1.6 本课题研究意义 | 第21-24页 |
| 第二章 实验原理与实验方法 | 第24-35页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 参考样品的制备技术 | 第24-30页 |
| 2.2.1 钛酸锶的基本性能 | 第24-25页 |
| 2.2.2 电子束蒸发技术 | 第25-26页 |
| 2.2.3 光刻技术 | 第26-28页 |
| 2.2.4 等离子轰击技术 | 第28-30页 |
| 2.3 开环模式Kelvin扫描探针显微镜 | 第30-32页 |
| 2.4 锁相放大器 | 第32页 |
| 2.5 欧姆接触 | 第32-33页 |
| 2.6 双谐振模式Kelvin扫描探针显微镜的系统参数 | 第33-34页 |
| 2.7 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 双谐振模式Kelvin扫描探针显微镜测量方法研究 | 第35-53页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 参考样品的制备 | 第35-37页 |
| 3.3 调幅模式原子力显微镜测量方法研究 | 第37-39页 |
| 3.3.1 干涉仪测量探针偏移的灵密度 | 第37-38页 |
| 3.3.2 探针振荡幅度的对调幅模式原子力显微镜测量的影响 | 第38-39页 |
| 3.4 双谐振模式KPFM测量条件研究 | 第39-45页 |
| 3.4.1 针尖-样品距离对双谐振模式KPFM测量方法的影响 | 第39-43页 |
| 3.4.2 电势比例系数的校正 | 第43-45页 |
| 3.5 双谐振模式KPFM系统参数的优化 | 第45-50页 |
| 3.5.1 频率对电势测量的影响 | 第45-47页 |
| 3.5.2 交流电压对电势测量的影响 | 第47-49页 |
| 3.5.3 时间常数对电势测量的影响 | 第49-50页 |
| 3.6 双谐振模式KPFM的分辨率 | 第50-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-53页 |
| 第四章 双谐振模式开尔文探针力显微镜的应用 | 第53-61页 |
| 4.1 引言 | 第53页 |
| 4.2 双谐振模式KPFM对绝缘体材料表面电势的测量 | 第53-55页 |
| 4.2.1 源漏电流对电势测量的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.2 栅压对电势测量的影响 | 第54-55页 |
| 4.3 双谐振模式KPFM与闭环模式KPFM的对比 | 第55-57页 |
| 4.4 双谐振模式KPFM在反射镜薄膜中的应用 | 第57-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 总结 | 第61页 |
| 5.2 展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第68页 |
