等离子体浓度实时诊断技术研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-13页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 等离子体测试研究现状 | 第13-36页 |
| 2.1 等离子体基本参数 | 第13-21页 |
| 2.1.1 等离子体电子密度和离子密度 | 第13-14页 |
| 2.1.2 等离子体温度 | 第14页 |
| 2.1.3 碰撞频率 | 第14-15页 |
| 2.1.4 朗道长度 | 第15页 |
| 2.1.5 德拜半径 | 第15-16页 |
| 2.1.6 等离子体频率 | 第16-18页 |
| 2.1.7 等离子体响应时间 | 第18-19页 |
| 2.1.8 等离子体的导电性 | 第19-20页 |
| 2.1.9 等离子体的介电性 | 第20-21页 |
| 2.2 等离子体诊断方法研究现状 | 第21-33页 |
| 2.2.1 低温等离子体和高温等离子体 | 第21页 |
| 2.2.2 探针法 | 第21-27页 |
| 2.2.2.1 静电探针 | 第22-24页 |
| 2.2.2.2 磁探针 | 第24-25页 |
| 2.2.2.3 微波共振探针 | 第25-27页 |
| 2.2.3 微波法 | 第27-32页 |
| 2.2.3.1 微波干涉法 | 第28-29页 |
| 2.2.3.2 微波反射法 | 第29-30页 |
| 2.2.3.3 微波谐振腔法 | 第30-31页 |
| 2.2.3.4 微波辐射法 | 第31-32页 |
| 2.2.4 光谱法 | 第32-33页 |
| 2.3 本文所用诊断方法 | 第33-34页 |
| 2.4 等离子体与电磁波的相互作用 | 第34-36页 |
| 第三章 准光学谐振腔诊断原理 | 第36-49页 |
| 3.1 准光学谐振腔介绍 | 第36-37页 |
| 3.2 准光腔基本参量 | 第37-38页 |
| 3.2.1 曲率因子 | 第37页 |
| 3.2.2 菲涅尔数 | 第37-38页 |
| 3.3 准光腔内场结构及能量分布 | 第38-43页 |
| 3.3.1 高斯波束 | 第38-40页 |
| 3.3.2 高斯波束中的电场和磁场分布 | 第40-43页 |
| 3.4 准光腔的常用参数 | 第43-45页 |
| 3.4.1 束腰半径 | 第43-44页 |
| 3.4.2 谐振频率 | 第44页 |
| 3.4.3 品质因数 | 第44-45页 |
| 3.5 准光腔等离子体诊断理论 | 第45-49页 |
| 第四章 准光腔诊断系统设计 | 第49-69页 |
| 4.1 准光腔腔体尺寸 | 第49-53页 |
| 4.1.1 球面镜曲率半径R | 第49-50页 |
| 4.1.2 准光腔腔长D | 第50-52页 |
| 4.1.3 准光腔球面镜.径A | 第52-53页 |
| 4.2 准光腔在 3mm波段的应用分析 | 第53页 |
| 4.3 W波段同轴波导转换器的设计 | 第53-60页 |
| 4.3.1 切比雪夫阻抗匹配理论 | 第53-56页 |
| 4.3.2 同轴波导转换器的仿真设计 | 第56-60页 |
| 4.4 准光腔耦合装置 | 第60-61页 |
| 4.5 等离子体源—氙灯装置 | 第61-64页 |
| 4.5.1 气体放电灯的基本原理 | 第62页 |
| 4.5.2 长弧氙灯装置 | 第62-64页 |
| 4.5.3 氙灯等离子体的估算 | 第64页 |
| 4.6 氙灯移动平台设计 | 第64-65页 |
| 4.7 诊断系统集成及诊断流程 | 第65-67页 |
| 4.7.1 诊断系统集成 | 第65-66页 |
| 4.7.2 诊断流程 | 第66-67页 |
| 4.8 测试软件 | 第67-69页 |
| 第五章 诊断结果与误差分析 | 第69-79页 |
| 5.1 诊断结果 | 第69-77页 |
| 5.1.1 8mm波段诊断结果 | 第69-74页 |
| 5.1.2 3mm波段诊断结果 | 第74-77页 |
| 5.2 误差分析 | 第77-79页 |
| 第六章 结论 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第85-86页 |
