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激光选择性刻蚀有机复合材料/金属薄膜技术的研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-20页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 激光加工有机复合材料/金属薄膜体系材料的国内外研究现状第10-17页
    1.3 课题来源、意义、主要研究内容及创新点第17-18页
    1.4 技术方案第18-20页
2 实验和检测设备、材料性质和刻蚀要求第20-28页
    2.1 激光加工设备第20-25页
    2.2 实验材料和加工样品检验设备第25-26页
    2.3 刻蚀要求第26页
    2.4 本章小结第26-28页
3 激光直接法刻蚀覆铜板实验研究第28-42页
    3.1 实验方案可行性及扫描方式的确定第28-30页
    3.2 实验结果及讨论第30-38页
    3.3 机理分析第38-40页
    3.4 刻蚀样品照片第40-41页
    3.5 本章小结第41-42页
4 激光剥离法刻蚀覆铜板实验研究第42-51页
    4.1 实验方案及可行性分析第42-43页
    4.2 实验结果及讨论第43-46页
    4.3 机理分析第46-49页
    4.4 刻蚀样品照片第49-50页
    4.5 本章小结第50-51页
5 激光三维空间曲面加工的技术研究第51-70页
    5.1 激光三维刻蚀方法的选取以及加工图形的确定第51-54页
    5.2 三维加工方案的介绍第54-58页
    5.3 栅格划分对尺寸精度及加工效率的影响第58-63页
    5.4 曲面倾斜角对刻蚀质量及尺寸精度的影响第63-68页
    5.5 刻蚀样品照片第68-69页
    5.6 本章小结第69-70页
6 全文工作总结与展望第70-72页
    6.1 主要成果及结论第70-71页
    6.2 展望及建议第71-72页
致谢第72-73页
参考文献第73-76页

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