| 摘要 | 第4-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 引言 | 第14页 |
| 1.2 TCO薄膜发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3 TCOS薄膜在能源方面的应用 | 第15-21页 |
| 1.3.1 在LED上的应用 | 第16-18页 |
| 1.3.2 在太阳能电池中的应用 | 第18-21页 |
| 1.3.2.1 在硅基薄膜电池上的应用 | 第18-21页 |
| 1.3.3.2 在晶体硅电池方面的应用 | 第21页 |
| 1.4 选题意义和研究内容 | 第21-22页 |
| 第二章 TCO薄膜的透明及电导机理 | 第22-28页 |
| 2.1 透明机理 | 第22页 |
| 2.2 电导机理 | 第22-23页 |
| 2.3 导电性与光透过率的关系 | 第23-25页 |
| 2.4 ZNO基TCO薄膜的掺杂 | 第25-27页 |
| 2.4.1 化合价 | 第25-26页 |
| 2.4.2 离子半径 | 第26页 |
| 2.4.3 电负性 | 第26页 |
| 2.4.4 离子外层电子构型 | 第26页 |
| 2.4.5 温度 | 第26-27页 |
| 2.5 掺杂方案 | 第27-28页 |
| 第三章 TCO靶材的制备及光电性能研究 | 第28-43页 |
| 3.1 AZO靶材研究现状 | 第28页 |
| 3.2 AZO靶材制备方法 | 第28-29页 |
| 3.2.1 真空热压法 | 第28页 |
| 3.2.2 热等静压(HIP)法 | 第28-29页 |
| 3.2.3 固相常压烧结法 | 第29页 |
| 3.3 AZO及AZTO陶瓷靶材的制备 | 第29-32页 |
| 3.3.1 AZO及AZTO陶瓷靶材制备过程 | 第29-30页 |
| 3.3.2 AZO及AZTO陶瓷靶材制备工艺 | 第30-32页 |
| 3.4 AZO及AZTO陶瓷靶材的性能测试 | 第32-37页 |
| 3.4.1 烧结温度对靶材线收缩率与致密度的影响 | 第32-33页 |
| 3.4.3 不同温度下AZO靶材的微观结构 | 第33-34页 |
| 3.4.4 不同温度下的AZO靶材的断面形貌 | 第34-36页 |
| 3.4.5 烧结温度对靶材电阻率的影响 | 第36-37页 |
| 3.5 AZO及AZTO等陶瓷靶材的微观缺陷 | 第37-41页 |
| 3.5.1 正电子湮没技术简介 | 第37-38页 |
| 3.5.2 正电子湮没寿命谱仪 | 第38页 |
| 3.5.3 正电子寿命谱及谱仪的分辨函数 | 第38-39页 |
| 3.5.4 正电子湮没寿命谱测量 | 第39-41页 |
| 3.6 陶瓷靶材外观 | 第41-42页 |
| 3.7 小结 | 第42-43页 |
| 第四章 AZO及AZTO薄膜制备及光电特性研究 | 第43-62页 |
| 4.1 AZO薄膜的制备方法 | 第43-45页 |
| 4.1.1 CVD | 第43页 |
| 4.1.2 PVD | 第43-45页 |
| 4.2 AZO及AZTO等薄膜的制备 | 第45-62页 |
| 4.2.1 载玻片清洗与薄膜制备 | 第45-46页 |
| 4.2.2 AZO薄膜测试方法 | 第46-56页 |
| 4.2.2.1 不同工作压强下的AZO薄膜 | 第46-49页 |
| 4.2.2.2 不同溅射时间下的AZO薄膜 | 第49-54页 |
| 4.2.2.3 不同氧含量对AZO薄膜性能的影响 | 第54-56页 |
| 4.2.3 不同掺杂的ZnO薄膜 | 第56-58页 |
| 4.2.4 掺杂ZnO薄膜发光特性 | 第58-62页 |
| 第五章 AZO薄膜应用初探 | 第62-73页 |
| 5.1 掺杂ZnO薄膜代替ITO薄膜的可能性 | 第62-63页 |
| 5.1.1 AZO及AZTO薄膜与ITO薄膜电性能比较 | 第62页 |
| 5.1.2 AZO及AZTO薄膜与ITO薄膜透射率的比较 | 第62-63页 |
| 5.2 AZO薄膜减反射层在晶体硅电池中的应用 | 第63-64页 |
| 5.3 AZO膜减反射层 | 第64-66页 |
| 5.3.1 减反射原理 | 第64-65页 |
| 5.3.2 AZO及AZTO减反射层设计 | 第65-66页 |
| 5.4 Si_xN_y与AZO及AZTO薄膜的比较 | 第66-71页 |
| 5.4.1 三种薄膜的制备过程 | 第66-67页 |
| 5.4.2 三种薄膜的膜厚与折射率 | 第67-68页 |
| 5.4.3 三种薄膜的反射率比较 | 第68-69页 |
| 5.4.4 AZO与AZTO薄膜的钝化效果比较 | 第69-71页 |
| 5.4.4.1 钝化原理 | 第69页 |
| 5.4.4.2 少子寿命测试 | 第69-71页 |
| 5.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 第六章 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 总结 | 第73-74页 |
| 6.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第84页 |
