| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| 1.1 课题概述 | 第8-9页 |
| 1.2 微泵的国内外发展现状 | 第9-10页 |
| 1.3 无阀微泵的工作原理及主要参数 | 第10-12页 |
| 1.4 本课题研究的内容 | 第12-13页 |
| 2 软刻蚀技术 | 第13-18页 |
| 2.1 软刻蚀技术及其应用 | 第13页 |
| 2.2 软刻蚀技术的原理与分类 | 第13-17页 |
| 2.3 软刻蚀技术的优缺点 | 第17-18页 |
| 3 无阀微泵的模板设计及制作 | 第18-36页 |
| 3.1 MEMS 加工工艺简介 | 第18-19页 |
| 3.2 无阀微泵的结构设计 | 第19-23页 |
| 3.3 无阀微泵的模板设计与制造 | 第23-36页 |
| 4 无阀微泵的制作与封装 | 第36-51页 |
| 4.1 无阀微泵的泵体制作 | 第36-41页 |
| 4.2 无阀微泵的键合封装 | 第41-48页 |
| 4.3 进出液管封装 | 第48-49页 |
| 4.4 无阀微泵的性能测试 | 第49-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| 5.1 总结 | 第51页 |
| 5.2 展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第58页 |