| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-13页 |
| 1.1.1 太阳电池的研究意义 | 第10页 |
| 1.1.2 太阳电池的发展 | 第10-12页 |
| 1.1.3 HIT 太阳电池的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2 透明导电薄膜概述 | 第13-14页 |
| 1.3 ITO 透明导电薄膜 | 第14-20页 |
| 1.3.1 ITO 薄膜的晶体结构和能带结构 | 第14-15页 |
| 1.3.2 ITO 薄膜的电学性质和导电机制 | 第15-16页 |
| 1.3.3 ITO 薄膜的光学性能 | 第16-17页 |
| 1.3.4 ITO 薄膜的制备方法及研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 实验设备及性能测试表征技术 | 第22-30页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 磁控溅射设备简介 | 第22-24页 |
| 2.2.1 磁控溅射设备组成 | 第22-24页 |
| 2.2.2 技术指标 | 第24页 |
| 2.3 ITO 薄膜制备过程 | 第24-26页 |
| 2.3.1 实验准备 | 第24-25页 |
| 2.3.2 实验操作过程 | 第25-26页 |
| 2.3.3 实验方案 | 第26页 |
| 2.4 薄膜性能测试表征技术 | 第26-30页 |
| 2.4.1 薄膜厚度的测量 | 第27页 |
| 2.4.2 X 射线衍射分析(XRD) | 第27-28页 |
| 2.4.3 表面形貌分析(SEM) | 第28页 |
| 2.4.4 标准四探针测试仪 | 第28-29页 |
| 2.4.5 薄膜透过率及电池 I-V 特性的测试 | 第29-30页 |
| 第三章 工艺参数条件对 ITO 薄膜性能的影响 | 第30-52页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 衬底温度对 ITO 薄膜性能的影响 | 第30-35页 |
| 3.2.1 衬底温度对薄膜晶体结构的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.2 衬底温度对薄膜厚度的影响 | 第31-33页 |
| 3.2.3 衬底温度对薄膜电学性能的影响 | 第33页 |
| 3.2.4 衬底温度对薄膜光学性能的影响 | 第33-35页 |
| 3.2.5 衬底温度对薄膜性能的影响小结 | 第35页 |
| 3.3 溅射功率对 ITO 薄膜性能的影响 | 第35-39页 |
| 3.3.1 溅射功率对薄膜表面形貌的影响 | 第35-36页 |
| 3.3.2 溅射功率对薄膜厚度的影响 | 第36-37页 |
| 3.3.3 溅射功率对薄膜电学性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.4 溅射功率对薄膜光学性能的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.5 溅射功率对薄膜性能的影响小结 | 第39页 |
| 3.4 氧氩比对 ITO 薄膜性能的影响 | 第39-43页 |
| 3.4.1 氧氩比对薄膜厚度的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.2 氧氩比对薄膜电学性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.4.3 氧氩比对薄膜光学特性的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.4 氧氩比对薄膜性能的影响小结 | 第42-43页 |
| 3.5 溅射气压对 ITO 薄膜性能的影响 | 第43-47页 |
| 3.5.1 溅射气压对薄膜表面形貌的影响 | 第43-44页 |
| 3.5.2 溅射气压对薄膜厚度的影响 | 第44页 |
| 3.5.3 溅射气压对薄膜电学性能的影响 | 第44-45页 |
| 3.5.4 溅射气压对薄膜光学性能的影响 | 第45-47页 |
| 3.5.5 溅射气压对薄膜性能的影响小结 | 第47页 |
| 3.6 溅射时间对 ITO 薄膜性能的影响 | 第47-50页 |
| 3.6.1 溅射时间对薄膜表面形貌的影响 | 第47-48页 |
| 3.6.2 溅射时间对薄膜厚度的影响 | 第48页 |
| 3.6.3 溅射时间对薄膜电学性能的影响 | 第48-49页 |
| 3.6.4 溅射时间对薄膜光学性能的影响 | 第49-50页 |
| 3.6.5 溅射时间对薄膜性能的影响小结 | 第50页 |
| 3.7 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 ITO 薄膜在 HIT 太阳电池上的应用 | 第52-58页 |
| 4.1 HIT 太阳电池 | 第52-55页 |
| 4.1.1 HIT 太阳电池的优点 | 第52-53页 |
| 4.1.2 HIT 太阳电池的结构与制备 | 第53-55页 |
| 4.2 ITO 薄膜在 HIT 太阳电池上的应用 | 第55-57页 |
| 4.2.1 优化后的 ITO 薄膜在 HIT 太阳电池上的应用 | 第55-56页 |
| 4.2.2 不同前电极材料对 HIT 太阳电池性能的影响 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 结论 | 第58-59页 |
| 后续实验展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |