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Fcc(111)面薄膜三维生长的计算机模拟

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
目录第8-11页
第1章 绪论第11-20页
    1.1 薄膜研究背景第11-13页
    1.2 薄膜研究意义第13-14页
    1.3 薄膜研究现状第14-18页
        1.3.1 薄膜生长实验研究现状第14-16页
        1.3.2 薄膜生长模拟研究现状第16-18页
    1.4 本文的研究内容第18-20页
第2章 薄膜生长理论第20-34页
    2.1 薄膜的概念第20页
    2.2 薄膜的生长过程第20-28页
        2.2.1 吸附过程第21-22页
        2.2.2 扩散过程第22-26页
        2.2.3 形核和长大过程第26-27页
        2.2.4 岛的形成与结合生长过程第27-28页
    2.3 薄膜生长模式第28-32页
        2.3.1 岛状生长模式第28-29页
        2.3.2 层状生长模式第29-31页
        2.3.3 岛层生长模式第31页
        2.3.4 生长模式之间的相互转化第31-32页
    2.4 薄膜的性质研究第32-34页
        2.4.1 岛尺寸分布理论第32-33页
        2.4.2 粗糙度第33-34页
第3章 薄膜生长模拟方法第34-38页
    3.1 计算机模拟方法的介绍第34-36页
        3.1.1 蒙特卡罗方法第35页
        3.1.2 分子动力学方法第35-36页
    3.2 计算机模拟模型的介绍第36-38页
第4章 薄膜生长模型的建立第38-47页
    4.1 模型建立所考虑的因素第38-39页
    4.2 基底的构成第39-41页
        4.2.1 基底结构第39-40页
        4.2.2 周期性边界条件第40-41页
    4.3 模拟的事件第41-45页
        4.3.1 沉积第41-42页
        4.3.2 同层扩散第42-44页
        4.3.3 层间扩散第44-45页
    4.4 模拟流程图第45-47页
第5章 结果分析与讨论第47-89页
    5.1 未考虑扩散的各向异性岛形貌的分析第48-55页
        5.1.1 扩散粒子最近邻粒子数对岛形貌的影响第48-50页
        5.1.2 扩散粒子绕岛步数对岛形貌的影响第50-52页
        5.1.3 未考虑扩散各向异性的实验比对第52-53页
        5.1.4 未考虑扩散的各向异性-上跃概率对薄膜生长形貌的影响第53-54页
        5.1.5 定量分析-未考虑扩散的各向异性上跃概率对薄膜粗糙度的影响第54-55页
    5.2 考虑扩散的各向异性岛形貌的分析第55-59页
        5.2.1 考虑扩散各向异性的实验比对第56-58页
        5.2.2 考虑扩散的各向异性-上跃概率对薄膜生长形貌的影响第58页
        5.2.3 定量分析-考虑扩散的各向异性上跃概率对薄膜粗糙度的影响第58-59页
    5.3 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-下跃第59-63页
        5.3.1 未考虑扩散的各向异性-下跃对薄膜生长形貌的影响第60-62页
        5.3.2 定量分析-未考虑扩散的各向异性下跃对薄膜粗糙度的影响第62-63页
    5.4 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-覆盖率第63-66页
        5.4.1 不考虑绕岛情况下的形貌图第63-64页
        5.4.2 考虑绕岛情况下的形貌图第64-65页
        5.4.3 定量分析-不同绕岛步数下粗糙度随覆盖率的变化第65-66页
    5.5 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-沉积速率第66-70页
        5.5.1 不考虑绕岛情况的形貌图第66-67页
        5.5.2 考虑绕岛情况的形貌图第67-69页
        5.5.3 定量分析-不同绕岛步数下粗糙度随沉积速率的变化第69-70页
    5.6 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-温度第70-72页
        5.6.1 薄膜生长形貌随温度的变化第70-71页
        5.6.2 定量分析-不同沉积速率下粗糙度随温度的变化第71-72页
    5.7 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-层错第72-80页
        5.7.1 不同温度下层错对薄膜形貌的影响第73-75页
        5.7.2 定量分析-温度对层错的影响第75-77页
        5.7.3 不同沉积速率下层错对薄膜形貌的影响第77页
        5.7.4 定量分析-沉积速率对层错的影响第77-78页
        5.7.5 不同覆盖率下层错对薄膜形貌的影响第78-79页
        5.7.6 定量分析-覆盖率对层错的影响第79-80页
    5.8 Fcc(111)面fcc、hcp位随机沉积模型的模拟研究第80-89页
        5.8.1 对比温度对岛形貌的影响第81-82页
        5.8.2 定量分析-不同绕岛步数下温度对薄膜粗糙度的影响第82-83页
        5.8.3 对比沉积速率对岛形貌的影响第83-84页
        5.8.4 定量分析-不同温度下沉积速率对薄膜粗糙度的影响第84-86页
        5.8.5 对比覆盖率对岛形貌的影响第86-87页
        5.8.6 定量分析-不同沉积速率下覆盖率对薄膜粗糙度的影响第87-89页
第6章 结论第89-91页
参考文献第91-99页
致谢第99页

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