| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 薄膜研究背景 | 第11-13页 |
| 1.2 薄膜研究意义 | 第13-14页 |
| 1.3 薄膜研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 薄膜生长实验研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.2 薄膜生长模拟研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第18-20页 |
| 第2章 薄膜生长理论 | 第20-34页 |
| 2.1 薄膜的概念 | 第20页 |
| 2.2 薄膜的生长过程 | 第20-28页 |
| 2.2.1 吸附过程 | 第21-22页 |
| 2.2.2 扩散过程 | 第22-26页 |
| 2.2.3 形核和长大过程 | 第26-27页 |
| 2.2.4 岛的形成与结合生长过程 | 第27-28页 |
| 2.3 薄膜生长模式 | 第28-32页 |
| 2.3.1 岛状生长模式 | 第28-29页 |
| 2.3.2 层状生长模式 | 第29-31页 |
| 2.3.3 岛层生长模式 | 第31页 |
| 2.3.4 生长模式之间的相互转化 | 第31-32页 |
| 2.4 薄膜的性质研究 | 第32-34页 |
| 2.4.1 岛尺寸分布理论 | 第32-33页 |
| 2.4.2 粗糙度 | 第33-34页 |
| 第3章 薄膜生长模拟方法 | 第34-38页 |
| 3.1 计算机模拟方法的介绍 | 第34-36页 |
| 3.1.1 蒙特卡罗方法 | 第35页 |
| 3.1.2 分子动力学方法 | 第35-36页 |
| 3.2 计算机模拟模型的介绍 | 第36-38页 |
| 第4章 薄膜生长模型的建立 | 第38-47页 |
| 4.1 模型建立所考虑的因素 | 第38-39页 |
| 4.2 基底的构成 | 第39-41页 |
| 4.2.1 基底结构 | 第39-40页 |
| 4.2.2 周期性边界条件 | 第40-41页 |
| 4.3 模拟的事件 | 第41-45页 |
| 4.3.1 沉积 | 第41-42页 |
| 4.3.2 同层扩散 | 第42-44页 |
| 4.3.3 层间扩散 | 第44-45页 |
| 4.4 模拟流程图 | 第45-47页 |
| 第5章 结果分析与讨论 | 第47-89页 |
| 5.1 未考虑扩散的各向异性岛形貌的分析 | 第48-55页 |
| 5.1.1 扩散粒子最近邻粒子数对岛形貌的影响 | 第48-50页 |
| 5.1.2 扩散粒子绕岛步数对岛形貌的影响 | 第50-52页 |
| 5.1.3 未考虑扩散各向异性的实验比对 | 第52-53页 |
| 5.1.4 未考虑扩散的各向异性-上跃概率对薄膜生长形貌的影响 | 第53-54页 |
| 5.1.5 定量分析-未考虑扩散的各向异性上跃概率对薄膜粗糙度的影响 | 第54-55页 |
| 5.2 考虑扩散的各向异性岛形貌的分析 | 第55-59页 |
| 5.2.1 考虑扩散各向异性的实验比对 | 第56-58页 |
| 5.2.2 考虑扩散的各向异性-上跃概率对薄膜生长形貌的影响 | 第58页 |
| 5.2.3 定量分析-考虑扩散的各向异性上跃概率对薄膜粗糙度的影响 | 第58-59页 |
| 5.3 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-下跃 | 第59-63页 |
| 5.3.1 未考虑扩散的各向异性-下跃对薄膜生长形貌的影响 | 第60-62页 |
| 5.3.2 定量分析-未考虑扩散的各向异性下跃对薄膜粗糙度的影响 | 第62-63页 |
| 5.4 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-覆盖率 | 第63-66页 |
| 5.4.1 不考虑绕岛情况下的形貌图 | 第63-64页 |
| 5.4.2 考虑绕岛情况下的形貌图 | 第64-65页 |
| 5.4.3 定量分析-不同绕岛步数下粗糙度随覆盖率的变化 | 第65-66页 |
| 5.5 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-沉积速率 | 第66-70页 |
| 5.5.1 不考虑绕岛情况的形貌图 | 第66-67页 |
| 5.5.2 考虑绕岛情况的形貌图 | 第67-69页 |
| 5.5.3 定量分析-不同绕岛步数下粗糙度随沉积速率的变化 | 第69-70页 |
| 5.6 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-温度 | 第70-72页 |
| 5.6.1 薄膜生长形貌随温度的变化 | 第70-71页 |
| 5.6.2 定量分析-不同沉积速率下粗糙度随温度的变化 | 第71-72页 |
| 5.7 不同生长条件对薄膜形貌的影响分析-层错 | 第72-80页 |
| 5.7.1 不同温度下层错对薄膜形貌的影响 | 第73-75页 |
| 5.7.2 定量分析-温度对层错的影响 | 第75-77页 |
| 5.7.3 不同沉积速率下层错对薄膜形貌的影响 | 第77页 |
| 5.7.4 定量分析-沉积速率对层错的影响 | 第77-78页 |
| 5.7.5 不同覆盖率下层错对薄膜形貌的影响 | 第78-79页 |
| 5.7.6 定量分析-覆盖率对层错的影响 | 第79-80页 |
| 5.8 Fcc(111)面fcc、hcp位随机沉积模型的模拟研究 | 第80-89页 |
| 5.8.1 对比温度对岛形貌的影响 | 第81-82页 |
| 5.8.2 定量分析-不同绕岛步数下温度对薄膜粗糙度的影响 | 第82-83页 |
| 5.8.3 对比沉积速率对岛形貌的影响 | 第83-84页 |
| 5.8.4 定量分析-不同温度下沉积速率对薄膜粗糙度的影响 | 第84-86页 |
| 5.8.5 对比覆盖率对岛形貌的影响 | 第86-87页 |
| 5.8.6 定量分析-不同沉积速率下覆盖率对薄膜粗糙度的影响 | 第87-89页 |
| 第6章 结论 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-99页 |
| 致谢 | 第99页 |
