器件级BZO制备及其在太阳电池上研究应用
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 研究背景 | 第10-12页 |
| 1.3 研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.1 磁控溅射技术制备 ZnO-TCO | 第12-13页 |
| 1.3.2 MOCVD 技术制备 ZnO-TCO | 第13页 |
| 1.3.3 总结分析 | 第13页 |
| 1.4 论文的主要内容及结构安排 | 第13-16页 |
| 第二章 薄膜太阳电池原理及 TCO 薄膜应用 | 第16-22页 |
| 2.1 薄膜太阳电池原理 | 第16-18页 |
| 2.1.1 太阳电池工作原理 | 第16-17页 |
| 2.1.2 薄膜太阳电池结构 | 第17-18页 |
| 2.2 太阳电池用 TCO 薄膜 | 第18-19页 |
| 2.2.1 TCO 薄膜陷光效应 | 第18页 |
| 2.2.2 绒面结构 TCO 薄膜 | 第18-19页 |
| 2.3 ZnO 材料 | 第19-22页 |
| 2.3.1 ZnO 的基本性质 | 第19-20页 |
| 2.3.2 ZnO 的掺杂性能 | 第20-22页 |
| 第三章 TCO 薄膜制备技术和测试技术 | 第22-28页 |
| 3.1 薄膜制备技术 | 第22-24页 |
| 3.1.1 MOCVD 技术 | 第22页 |
| 3.1.2 本文采用的 MOCVD 设备 | 第22-24页 |
| 3.2 薄膜测试技术 | 第24-28页 |
| 3.2.1 薄膜表面形貌测试技术 | 第24-25页 |
| 3.2.2 薄膜电学性能测试技术 | 第25-26页 |
| 3.2.3 薄膜光学性能测试技术 | 第26页 |
| 3.2.4 电池性能测试技术 | 第26-28页 |
| 第四章 MOCVD 制备 BZO 薄膜 | 第28-50页 |
| 4.1 实验思路 | 第28页 |
| 4.2 本征 ZnO 薄膜 | 第28-29页 |
| 4.3 BZO 薄膜制备 | 第29-30页 |
| 4.4 工艺参数对 BZO 薄膜性能影响 | 第30-50页 |
| 4.4.1 衬底温度 | 第30-33页 |
| 4.4.2 掺杂浓度 | 第33-39页 |
| 4.4.3 反应压力 | 第39-43页 |
| 4.4.4 MO 源物质配比（H_2O/DEZ） | 第43-46页 |
| 4.4.5 薄膜厚度 | 第46-50页 |
| 第五章 BZO 薄膜在太阳电池中应用 | 第50-66页 |
| 5.1 非晶硅薄膜太阳电池 | 第50-51页 |
| 5.2 BZO 背电极应用 | 第51-58页 |
| 5.2.1 背电极 BZO 工艺参数优化 | 第51-54页 |
| 5.2.2 背电极 BZO 应用 | 第54-58页 |
| 5.3 BZO 前电极应用 | 第58-66页 |
| 5.3.1 前电极 BZO 工艺参数优化 | 第58-63页 |
| 5.3.2 前电极 BZO 应用 | 第63-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-70页 |
| 6.1 薄膜制备结论 | 第66-67页 |
| 6.2 薄膜应用结论 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
