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宽带脉冲压缩光栅的制作与刻蚀特性研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第11-17页
    1.1 课题背景第11-13页
        1.1.1 引言第11页
        1.1.2 CPA系统中的脉冲压缩光栅及分类第11-13页
    1.2 脉冲压缩光栅的研究进展第13-14页
    1.3 论文的研究目的第14页
    1.4 论文的研究工作第14-17页
第二章 宽带镀金脉冲压缩光栅的研制第17-45页
    2.1 正弦宽带镀金脉冲压缩光栅的研制第17-27页
        2.1.1 引言第17-18页
        2.1.2 正弦宽带镀金光栅的制作第18-21页
            2.1.2.1 梯形光栅-涂胶-离子束溅射镀膜工艺第19-20页
            2.1.2.2 全息光刻-离子束溅射镀膜工艺第20-21页
        2.1.3 实验结果与讨论第21-26页
        2.1.4 小结第26-27页
    2.2 正弦顶宽带镀金脉冲压缩光栅的研制第27-45页
        2.2.1 引言第27页
        2.2.2 设计第27-32页
        2.2.3 制作第32-43页
        2.2.4 小结第43-45页
第三章 金属介质膜脉冲压缩光栅及刻蚀工艺研究第45-63页
    3.1 引言第45页
    3.2 金属介质膜脉冲压缩光栅第45-46页
    3.3 金属介质膜脉冲压缩光栅的刻蚀第46-50页
    3.4 衍射效率测量及分析第50-60页
    3.5 本章小结第60-63页
第四章 提高多层介质膜光栅效率的方法第63-79页
    4.1 引言第63-64页
    4.2 多层介质膜脉冲压缩光栅特性分析第64-66页
        4.2.1 光栅与超短脉冲作用性能分析第64页
        4.2.2 无阻刻层时SiO_2顶层PCG衍射效率分析第64-66页
    4.3 提高多层介质膜脉冲压缩光栅衍射效率的方法第66-69页
        4.3.1 提高衍射效率实验方案及关键问题第66-68页
        4.3.2 实验方法第68-69页
    4.4 实验结果及分析第69-75页
    4.5 衍射效率测量第75-77页
        4.5.1 衍射效率测量光路设计第75-77页
    4.6 本章小结第77-79页
第五章 总结与展望第79-81页
    5.1 论文的工作总结第79-80页
    5.2 论文的主要创新点第80页
    5.3 展望第80-81页
参考文献第81-91页
作者攻读博士学位期间发表的论文第91-93页
致谢第93-94页

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