| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第12-13页 |
| 1.2 金属间化合物结构材料 | 第13-14页 |
| 1.2.1 结构材料的特点 | 第13-14页 |
| 1.2.2 金属间化合物材料的前景 | 第14页 |
| 1.3 Ti-Al系金属间化合物的基本特征与性能 | 第14-19页 |
| 1.3.1 物相结构 | 第15-16页 |
| 1.3.2 Ti-Al相图与 γ+α2 双相合金 | 第16-17页 |
| 1.3.3 力学性能 | 第17-19页 |
| 1.4 TiAlN微叠层的基本结构与性能 | 第19-22页 |
| 1.4.1 TiAlN微叠层的结构 | 第19-20页 |
| 1.4.2 耐高温性能 | 第20-21页 |
| 1.4.3 TiAlN微叠层的特点 | 第21页 |
| 1.4.4 TiAlN微叠层的研究进展与展望 | 第21-22页 |
| 1.5 微叠层的研究进展 | 第22-26页 |
| 1.5.1 界面表征 | 第22-23页 |
| 1.5.2 微叠层材料制备工艺及特点 | 第23-24页 |
| 1.5.3 磁控溅射(MS)工艺在制备微叠层材料中的优势与应用 | 第24-25页 |
| 1.5.4 发展动向 | 第25-26页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 实验条件及研究方法 | 第28-44页 |
| 2.1 实验用原材料与预处理 | 第28页 |
| 2.2 TiAl和TiAlN微叠层的制备 | 第28-36页 |
| 2.2.1 磁控溅射设备 | 第28-30页 |
| 2.2.2 TiAl和TiAlN微叠层工艺参数的设定 | 第30-31页 |
| 2.2.3 TiAl和TiAlN微叠层的制备过程 | 第31-34页 |
| 2.2.4 热处理工艺 | 第34-36页 |
| 2.3 TiAl和TiAlN微叠层的表征 | 第36-42页 |
| 2.3.1 物相分析 | 第36-37页 |
| 2.3.2 表面形貌观察 | 第37-39页 |
| 2.3.3 热力学计算 | 第39-41页 |
| 2.3.4 摩擦磨损测试 | 第41-42页 |
| 2.3.5 磨损形貌观察 | 第42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 TiAl微叠层的制备和摩擦磨损性能分析 | 第44-68页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 TiAl微叠层的制备工艺 | 第44-45页 |
| 3.2.1 靶材的选择 | 第44页 |
| 3.2.2 TiAl微叠层的制备过程 | 第44-45页 |
| 3.3 热力学计算分析 | 第45-52页 |
| 3.4 物相分析 | 第52-58页 |
| 3.5 表面形貌分析 | 第58-62页 |
| 3.6 TiAl微叠层的摩擦磨损性能分析 | 第62-65页 |
| 3.7 本章小结 | 第65-68页 |
| 第4章 TiAlN微叠层的制备和摩擦磨损性能分析 | 第68-86页 |
| 4.1 引言 | 第68页 |
| 4.2 TiAlN微叠层制备工艺的选定 | 第68-70页 |
| 4.2.1.单层TiAlN微叠层的制备 | 第69页 |
| 4.2.2 双层TiAlN微叠层的制备 | 第69-70页 |
| 4.3 TiAlN微叠层的物相分析 | 第70-77页 |
| 4.3.1 Ti-Al-N三元系等温截面计算 | 第70-71页 |
| 4.3.2 单层TiAlN微叠层的物相分析 | 第71-74页 |
| 4.3.3 双层TiAlN微叠层的物相分析 | 第74-77页 |
| 4.4 TiAlN微叠层材料的摩擦磨损性能分析 | 第77-83页 |
| 4.4.1 单层TiAlN微叠层的摩擦磨损 | 第77-80页 |
| 4.4.2 双层TiAlN微叠层的摩擦磨损 | 第80-83页 |
| 4.5 本章小结 | 第83-86页 |
| 结论 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-94页 |
| 致谢 | 第94页 |