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单晶蓝宝石基片固结磨料研磨工艺研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-18页
    1.1 蓝宝石的材料特性与制备第9-12页
    1.2 蓝宝石的应用第12-14页
    1.3 蓝宝石研磨加工研究现状第14-16页
        1.3.1 游离磨料研磨第14-15页
        1.3.2 固结磨料研磨第15-16页
    1.4 课题来源与研究内容第16-18页
        1.4.1 课题来源第16-17页
        1.4.2 主要研究内容第17-18页
2 固结磨料研磨技术及金刚石FALP修整方法第18-30页
    2.1 蓝宝石研磨加工技术第18-21页
    2.2 固结磨料研磨机理第21-22页
    2.3 FAL轨迹仿真及FALP修整第22-28页
        2.3.1 FAL运动轨迹及仿真第22-25页
        2.3.2 FALP修整实验第25-28页
    2.4 本章小结第28-30页
3 金刚石FALP加工蓝宝石磨削性能研究第30-40页
    3.1 研磨试验条件第30页
    3.2 试验检测方法第30-33页
    3.3 结合剂种类对金刚石FALP研磨性能的影响第33-35页
    3.4 磨料粒度对FALP磨削性能的影响第35-39页
    3.5 本章小结第39-40页
4 金刚石FALP加工蓝宝石基片工艺优化研究第40-55页
    4.1 金刚石FALP粗磨蓝宝石基片工艺参数优化第40-46页
        4.1.1 研磨加工时间的确定第40-42页
        4.1.2 研磨压力优化实验第42-44页
        4.1.3 研磨转速优化实验第44-46页
    4.2 金刚石FALP精磨蓝宝石基片工艺参数优化第46-51页
        4.2.1 研磨加工时间的确定第46-47页
        4.2.2 研磨压力优化实验第47-49页
        4.2.3 研磨转速优化实验第49-51页
    4.3 最优参数工艺试验第51-53页
    4.4 本章小结第53-55页
结论第55-57页
参考文献第57-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第61-62页
致谢第62-63页

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