单晶蓝宝石基片固结磨料研磨工艺研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 蓝宝石的材料特性与制备 | 第9-12页 |
| 1.2 蓝宝石的应用 | 第12-14页 |
| 1.3 蓝宝石研磨加工研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3.1 游离磨料研磨 | 第14-15页 |
| 1.3.2 固结磨料研磨 | 第15-16页 |
| 1.4 课题来源与研究内容 | 第16-18页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第16-17页 |
| 1.4.2 主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 固结磨料研磨技术及金刚石FALP修整方法 | 第18-30页 |
| 2.1 蓝宝石研磨加工技术 | 第18-21页 |
| 2.2 固结磨料研磨机理 | 第21-22页 |
| 2.3 FAL轨迹仿真及FALP修整 | 第22-28页 |
| 2.3.1 FAL运动轨迹及仿真 | 第22-25页 |
| 2.3.2 FALP修整实验 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 金刚石FALP加工蓝宝石磨削性能研究 | 第30-40页 |
| 3.1 研磨试验条件 | 第30页 |
| 3.2 试验检测方法 | 第30-33页 |
| 3.3 结合剂种类对金刚石FALP研磨性能的影响 | 第33-35页 |
| 3.4 磨料粒度对FALP磨削性能的影响 | 第35-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 金刚石FALP加工蓝宝石基片工艺优化研究 | 第40-55页 |
| 4.1 金刚石FALP粗磨蓝宝石基片工艺参数优化 | 第40-46页 |
| 4.1.1 研磨加工时间的确定 | 第40-42页 |
| 4.1.2 研磨压力优化实验 | 第42-44页 |
| 4.1.3 研磨转速优化实验 | 第44-46页 |
| 4.2 金刚石FALP精磨蓝宝石基片工艺参数优化 | 第46-51页 |
| 4.2.1 研磨加工时间的确定 | 第46-47页 |
| 4.2.2 研磨压力优化实验 | 第47-49页 |
| 4.2.3 研磨转速优化实验 | 第49-51页 |
| 4.3 最优参数工艺试验 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
