| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 压电驱动器国内外研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 直动式压电驱动器 | 第14-15页 |
| 1.2.2 步进式压电驱动器 | 第15-17页 |
| 1.2.3 超声波马达 | 第17-18页 |
| 1.3 混合驱动器研究发展现状 | 第18-19页 |
| 1.4 压电泵国内外研究现状 | 第19-21页 |
| 1.5 本文的研究意义与主要内容 | 第21-22页 |
| 第2章 单晶片圆形压电振子性能的理论分析与参数选取 | 第22-40页 |
| 2.1 压电陶瓷材料基本特性 | 第22-24页 |
| 2.1.1 压电效应与逆压电效应 | 第22页 |
| 2.1.2 压电陶瓷主要性能参数 | 第22-24页 |
| 2.2 压电驱动器的构成及特点 | 第24页 |
| 2.3 单晶片圆形压电振子的理论建模 | 第24-33页 |
| 2.3.1 基本条件与假设 | 第25页 |
| 2.3.2 压电振子在均布载荷q作用下的挠度曲线表达式 | 第25-30页 |
| 2.3.3 压电振子在恒定电压U作用下的挠度曲线表达式 | 第30-33页 |
| 2.4 理论结果数值分析与ANSYS模拟仿真验证 | 第33-37页 |
| 2.4.1 单晶片圆形压电振子ANSYS仿真模型建立 | 第33-35页 |
| 2.4.2 理论结果数值分析与ANSYS模拟仿真对比 | 第35-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-40页 |
| 第3章 压电液压驱动器的结构设计 | 第40-60页 |
| 3.1 压电液压驱动器的整体结构与工作原理 | 第40-41页 |
| 3.2 多腔体串联压电泵的结构原理与分析 | 第41-57页 |
| 3.2.1 多腔体串联压电泵的工作原理及性能影响因素分析 | 第41-43页 |
| 3.2.2 被动截止阀性能分析与选取 | 第43-46页 |
| 3.2.3 伞形橡胶截止阀阀片厚度的确定 | 第46-48页 |
| 3.2.4 出流孔位置与面积的确定 | 第48-54页 |
| 3.2.5 腔体高度的分析与确定 | 第54-57页 |
| 3.3 液压缸的选取 | 第57-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-60页 |
| 第4章 压电液压驱动器性能测试与分析 | 第60-76页 |
| 4.1 多腔串联压电泵输出性能测试 | 第60-65页 |
| 4.1.1 多腔串联压电泵的制作与测试设备 | 第60-61页 |
| 4.1.2 多腔串联压电泵最佳工作方式的确定 | 第61-64页 |
| 4.1.3 多腔串联压电泵输出性能测试 | 第64-65页 |
| 4.2 压电液压驱动器输出性能测试 | 第65-72页 |
| 4.2.1 压电液压驱动器制作与测试设备 | 第65-66页 |
| 4.2.2 无外界负载情况下驱动器性能测试 | 第66-69页 |
| 4.2.3 不同外界负载下驱动器性能测试 | 第69-72页 |
| 4.3 压电液压驱动器能量效率分析 | 第72-74页 |
| 4.3.1 压电液压驱动器的机电转化效率与能量利用率 | 第72-74页 |
| 4.3.2 压电液压驱动器改进方法 | 第74页 |
| 4.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 第5章 结论与展望 | 第76-78页 |
| 5.1 结论 | 第76-77页 |
| 5.2 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 作者简介 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
