基于单视角SEM图像的纳米操作精确定位
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 基于SEM纳米操系统的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 图像定位研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 探针的精确定位 | 第16-34页 |
| 2.1 亚像素边缘检测概述 | 第16-23页 |
| 2.1.1 基于插值亚像素边缘检测 | 第17-19页 |
| 2.1.2 基于矩的亚像素边缘检测 | 第19-21页 |
| 2.1.3 基于拟合亚像素边缘检测 | 第21-23页 |
| 2.2 相似度概述 | 第23-25页 |
| 2.2.1 基于像素灰度相关的相似度算法 | 第23-24页 |
| 2.2.2 基于特征点的相似度算法 | 第24-25页 |
| 2.2.3 基于特定理论的相似度算法 | 第25页 |
| 2.3 探针平面定位 | 第25-29页 |
| 2.3.1 探针图像的预处理 | 第25-26页 |
| 2.3.2 获取探针的感兴趣区域 | 第26-27页 |
| 2.3.3 探针的水平粗定位 | 第27页 |
| 2.3.4 探针的水平精确定位 | 第27-29页 |
| 2.4 探针垂直定位 | 第29-31页 |
| 2.4.1 获取探针的感兴趣区域 | 第29-30页 |
| 2.4.2 探针垂直粗定位 | 第30页 |
| 2.4.3 探针垂直精确定位 | 第30-31页 |
| 2.5 实验结果及分析 | 第31-33页 |
| 2.5.1 探针平面位置定位的结果 | 第31-32页 |
| 2.5.2 探针垂直定位的结果 | 第32-33页 |
| 2.6 本章小节 | 第33-34页 |
| 第3章 纳米线的精确定位 | 第34-46页 |
| 3.1 核密度估计 | 第34-36页 |
| 3.2 纳米线图像的预处理 | 第36-37页 |
| 3.3 纳米线的平面定位 | 第37-39页 |
| 3.3.1 获取纳米线的感兴趣区域 | 第37-38页 |
| 3.3.2 识别纳米线 | 第38-39页 |
| 3.3.3 纳米线水平位置的定位 | 第39页 |
| 3.4 实验结果及分析 | 第39-44页 |
| 3.4.1 纳米线识别结果 | 第39-43页 |
| 3.4.2 纳米线水平定位结果 | 第43-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 重叠纳米线的定位 | 第46-54页 |
| 4.1 重叠纳米线的识别 | 第46-49页 |
| 4.1.1 重叠纳米线的形状分析 | 第46-47页 |
| 4.1.2 重叠纳米线分类器 | 第47-49页 |
| 4.2 重叠纳米线图像的预处理 | 第49-50页 |
| 4.3 重叠纳米线的定位 | 第50-51页 |
| 4.4 实验结果及分析 | 第51-52页 |
| 4.5 本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文和获得的专利 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
