锗单晶片的表面化学腐蚀研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章 绪论	第10-24页
·锗的发展及应用概况	第10-17页
·锗的历史及其战略地位	第10-11页
·锗单晶材料的生长	第11-13页
·锗单晶材料的应用	第13-15页
·锗单晶材料的发展现状	第15-17页
·半导体材料的化学腐蚀机理及应用	第17-19页
·半导体材料腐蚀机理	第18-19页
·电化学腐蚀在半导体技术中的应用	第19页
·锗单晶化学腐蚀技术的研究进展	第19-22页
·课题研究的意义与目的	第22-24页
第2章 锗单晶表面化学腐蚀规律初步探索	第24-35页
·正交试验介绍	第24-25页
·酸性腐蚀体系的正交试验	第25-30页
·酸性腐蚀体系正交试验及其设计	第26-27页
·酸性腐蚀体系正交试验的结果与分析	第27-30页
·碱性腐蚀体系的正交试验	第30-35页
·碱性腐蚀体系正交试验及其设计	第30-32页
·碱性腐蚀体系正交试验的结果与分析	第32-35页
第3章 锗单晶表面酸性化学腐蚀研究	第35-54页
·引言	第35页
·实验部分	第35-37页
·结果与讨论	第37-53页
·不同温度的锗片酸性化学腐蚀	第37-42页
·不同配比条件下的锗片酸性化学腐蚀	第42-47页
·超声条件下的锗片酸性化学腐蚀	第47-51页
·腐蚀机理探讨	第51-53页
·本章小结	第53-54页
第4章 锗单晶表面碱性化学腐蚀研究	第54-73页
·引言	第54页
·实验部分	第54-56页
·结果与讨论	第56-72页
·不同温度的表面碱性化学腐蚀	第56-60页
·不同配比条件下的表面碱性化学腐蚀	第60-69页
·不同反应容器的表面碱性化学腐蚀	第69-70页
·腐蚀机理探讨	第70-72页
·本章小结	第72-73页
第5章 结论与展望	第73-74页
参考文献	第74-80页
致谢	第80-81页
攻读学位期间的研究成果	第81页