| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 引言 | 第8-14页 |
| 1.1 论文课题背景与选题依据 | 第8页 |
| 1.2 紫外探测技术的研究目的及意义 | 第8-10页 |
| 1.3 紫外探测技术的国内外研究现状 | 第10-11页 |
| 1.4 项目实现手段与方法 | 第11-12页 |
| 1.5 研究创新点 | 第12-13页 |
| 1.6 论文主要研究内容与章节安排 | 第13-14页 |
| 第2章 紫外探测系统的基本理论知识 | 第14-22页 |
| 2.1 紫外探测器的基本理论知识 | 第14-17页 |
| 2.1.1 紫外探测器的工作原理 | 第14页 |
| 2.1.2 紫外探测器的性能参数指标 | 第14-17页 |
| 2.2 读出电路的基本理论知识 | 第17-21页 |
| 2.2.1 读出电路的工作原理 | 第18页 |
| 2.2.2 CMOS读出电路的基本类型 | 第18-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 紫外探测器的研究与设计 | 第22-31页 |
| 3.1 典型横向PN结紫外探测器的学习与仿真分析 | 第22-26页 |
| 3.1.1 制备过程及工作原理 | 第22-23页 |
| 3.1.2 典型紫外探测器的仿真分析 | 第23-26页 |
| 3.2 紫外-红外互补型结构紫外探测器的设计 | 第26-30页 |
| 3.2.1 器件结构及工作原理 | 第26-27页 |
| 3.2.2 改进的器件结构及工作原理 | 第27-29页 |
| 3.2.3 紫外-红外互补型结构紫外探测器器件仿真 | 第29-30页 |
| 3.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第4章 紫外探测系统及其读出电路的研究与设计 | 第31-41页 |
| 4.1 紫外探测系统研究与设计 | 第31-33页 |
| 4.2 折叠式共源共栅运算放大器的研究与设计 | 第33-40页 |
| 4.2.0 工作原理 | 第33-34页 |
| 4.2.1 运放性能参数的设计 | 第34-36页 |
| 4.2.2 运放性能参数的仿真分析 | 第36-40页 |
| 4.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第5章 紫外探测系统的流片及测试数据分析 | 第41-52页 |
| 5.1 紫外探测系统的流片 | 第41-42页 |
| 5.2 紫外探测器件的测试 | 第42-48页 |
| 5.2.1 紫外-红外互补型紫外探测器电学性能的测试 | 第42-46页 |
| 5.2.2 紫外-红外互补型结构紫外探测器瞬态响应的测试 | 第46-48页 |
| 5.3 紫外探测器CMOS读出电路的测试 | 第48-51页 |
| 5.3.1 运算放大器的静态性能参数的测试 | 第48-49页 |
| 5.3.2 运算放大器的动态性能参数的测试 | 第49-51页 |
| 5.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第6章 总结与展望 | 第52-53页 |
| 6.1 工作总结 | 第52页 |
| 6.2 不足与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 附录A 个人简历 | 第57-58页 |
| 附录B 硕士期间学术成果列表 | 第58页 |
