| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 金刚石薄膜 | 第9-14页 |
| 1.1.1 金刚石简介 | 第9-11页 |
| 1.1.2 金刚石薄膜沉积方法 | 第11-14页 |
| 1.2 碳化硅性能及应用 | 第14-15页 |
| 1.3 硬质合金基体与金刚石薄膜粘附性研究 | 第15-18页 |
| 1.3.1 硬质合金简介 | 第15-16页 |
| 1.3.2 硬质合金基体与金刚石薄膜的粘附性研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 本论文的研究意义与内容 | 第18-20页 |
| 2 实验 | 第20-33页 |
| 2.1 实验设备 | 第20-25页 |
| 2.1.1 真空系统 | 第21-22页 |
| 2.1.2 电源系统 | 第22-23页 |
| 2.1.3 冷却系统 | 第23页 |
| 2.1.4 配气系统 | 第23-24页 |
| 2.1.5 测温装置 | 第24-25页 |
| 2.2 实验参数 | 第25-30页 |
| 2.2.1 灯丝碳化 | 第25页 |
| 2.2.2 基底预处理 | 第25-26页 |
| 2.2.3 偏压偏流曲线 | 第26-28页 |
| 2.2.4 SiC薄膜沉积条件 | 第28-29页 |
| 2.2.5 金刚石薄膜形核 | 第29页 |
| 2.2.6 金刚石薄膜沉积条件 | 第29-30页 |
| 2.3 表征方法 | 第30-33页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第30-31页 |
| 2.3.2 X射线衍射 | 第31页 |
| 2.3.3 电子探针分析 | 第31页 |
| 2.3.4 拉曼光谱分析 | 第31-32页 |
| 2.3.5 纳米压痕 | 第32页 |
| 2.3.6 洛氏硬度 | 第32-33页 |
| 3 沉积纳米SiC薄膜 | 第33-54页 |
| 3.1 气压对沉积纳米SiC薄膜的影响 | 第33-40页 |
| 3.1.1 显微分析 | 第33-39页 |
| 3.1.2 纳米压痕 | 第39-40页 |
| 3.2 基底温度对沉积纳米SiC薄膜的影响 | 第40-45页 |
| 3.2.1 显微分析 | 第40-44页 |
| 3.2.2 纳米压痕 | 第44-45页 |
| 3.3 TMS浓度对沉积纳米SiC薄膜的影响 | 第45-52页 |
| 3.3.1 显微分析 | 第45-51页 |
| 3.3.2 纳米压痕 | 第51-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 4 YG6X刀片表面沉积纳米SiC中间层与顶层金刚石薄膜 | 第54-61页 |
| 4.1 表面形貌与相结构 | 第54-56页 |
| 4.2 薄膜质量与残余应力分析 | 第56-58页 |
| 4.3 粘附性能 | 第58-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 5 硬质合金钻头上沉积金刚石薄膜 | 第61-70页 |
| 5.1 表面形貌 | 第61-67页 |
| 5.2 拉曼光谱 | 第67-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-70页 |
| 展望 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-77页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |