硅基高κ介质阻变存储器的制备工艺与特性

摘要	第4-6页
Abstract	第6-7页
第一章 绪论	第8-20页
1.1 存储器件的主要类型和发展概况	第8-14页
1.2 阻变存储器的研究现状和存在问题	第14-19页
1.3 本论文的主要内容和安排	第19-20页
第二章 硅基高κ介质阻变存储器的制备工艺	第20-36页
2.1 阻变存储器的结构和工作原理	第20-22页
2.2 阻变存储器的制备工艺	第22-33页
2.3 阻变存储器制备中的相关问题	第33-34页
2.4 本章小结	第34-36页
第三章 硅基高κ介质阻变存储器的电学特性与模型	第36-52页
3.1 阻变存储器的电流-电压特性	第36-44页
3.2 阻变存储器的等效电阻模型	第44-45页
3.3 能带图的提出及其解释	第45-51页
3.4 本章小结	第51-52页
第四章 硅基高κ介质阻变存储器的噪声特性	第52-65页
4.1 阻变存储器的1/f噪声特性	第52-55页
4.2 阻变存储器的随机电报噪声特性	第55-63页
4.3 阻变存储器的噪声特性结果讨论	第63-64页
4.4 本章小结	第64-65页
第五章 总结与展望	第65-67页
5.1 论文总结	第65-66页
5.2 研究展望	第66-67页
参考文献	第67-80页
攻读硕士学位期间的论文发表情况	第80-81页
致谢	第81-82页