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二维振动抛光装置的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第11-21页
    1.1 课题来源及研究背景第11-12页
    1.2 课题提出的意义第12-13页
    1.3 国内外研究现状第13-19页
    1.4 本文的主要内容第19-21页
第2章 椭圆振动抛光理论分析第21-33页
    2.1 椭圆振动抛光原理及轨迹的生成第21-24页
    2.2 柔性铰链结构分析第24-29页
    2.3 压电叠堆驱动方法的研究第29-31页
    2.4 相关软件介绍第31-32页
    2.5 本章小结第32-33页
第3章 椭圆振动抛光装置的设计第33-47页
    3.1 二维椭圆振动抛光装置第33-39页
        3.1.1 柔性铰链的设计第33-37页
            3.1.1.1 铰链结构的刚度仿真分析第34-35页
            3.1.1.2 铰链结构的静力学分析第35-37页
            3.1.1.3 铰链结构的模态分析第37页
        3.1.2 抛光装置的整体布局第37-39页
    3.2 三维椭圆振动抛光装置的设计第39-45页
        3.2.1 柔性铰链的设计第39-42页
            3.2.1.1 铰链结构的静力学分析第39-41页
            3.2.1.2 铰链结构的模态分析第41-42页
        3.2.2 三维椭圆抛光装置的组成第42-43页
        3.2.3 三维椭圆抛光装置的工作原理及过程第43-45页
    3.3 二维椭圆振动抛光装置的加工第45-46页
    3.4 本章小结第46-47页
第4章 二维椭圆振动抛光装置的性能测试第47-55页
    4.1 实验平台的搭建第47-49页
    4.2 实验室噪声检测第49-50页
    4.3 装置刚度测试第50-52页
    4.4 固有频率测试第52页
    4.5 本章小结第52-55页
第5章 二维椭圆振动抛光实验研究第55-71页
    5.1 实验平台的搭建第55-62页
        5.1.1 实验平台第55-57页
        5.1.2 实验设备和仪器第57-59页
        5.1.3 实验材料的选择第59-62页
    5.2 实验方案第62页
    5.3 实验结果及讨论第62-70页
    5.4 本章小结第70-71页
第6章 全文总结和展望第71-73页
    6.1 全文总结第71-72页
    6.2 后续工作展望第72-73页
参考文献第73-81页
作者简介及科研成果第81-83页
致谢第83页

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