| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 文献综述 | 第10-30页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 硅烷的性质和用途 | 第11-14页 |
| 1.2.1 硅烷的性质 | 第11-13页 |
| 1.2.2 硅烷的用途 | 第13-14页 |
| 1.3 硅烷的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.3.1 硅合金法 | 第14-15页 |
| 1.3.2 氢化物还原法 | 第15页 |
| 1.3.3 硅的直接氢化合成法 | 第15-16页 |
| 1.3.4 氯硅烷歧化法制备硅烷 | 第16页 |
| 1.4 硅烷的提纯和尾气处理 | 第16-21页 |
| 1.4.1 硅烷的提纯方法 | 第16-20页 |
| 1.4.2 硅烷的尾气处理 | 第20-21页 |
| 1.5 四氯化硅氢化制备三氯氢硅 | 第21-25页 |
| 1.5.1 热氢化法制备三氯氢硅 | 第22页 |
| 1.5.2 冷氢化法制备三氯氢硅 | 第22-23页 |
| 1.5.3 氯氢化法制备三氯氢硅 | 第23页 |
| 1.5.4 催化氢化法制备三氯氢硅 | 第23-25页 |
| 1.5.5 等离子体氢化法制备三氯氢硅 | 第25页 |
| 1.6 反应精馏 | 第25-28页 |
| 1.6.1 反应精馏发展历史 | 第25-26页 |
| 1.6.2 反应精馏 | 第26-28页 |
| 1.6.3 反应精馏应用 | 第28页 |
| 1.7 本论文研究目的和内容 | 第28-30页 |
| 第二章 四氯化硅氢化制备三氯氢硅 | 第30-41页 |
| 2.1 引言 | 第30-31页 |
| 2.2 实验部分 | 第31-35页 |
| 2.2.1 实验药品和设备 | 第31-32页 |
| 2.2.2 催化剂的制备 | 第32-33页 |
| 2.2.3 实验方法 | 第33-35页 |
| 2.3 空白实验结果与讨论 | 第35-38页 |
| 2.3.1 反应温度对产物的影响 | 第35-36页 |
| 2.3.2 反应压力对产物的影响 | 第36-37页 |
| 2.3.3 反应空速对产物的影响 | 第37页 |
| 2.3.4 原料配比对产物的影响 | 第37-38页 |
| 2.4 催化实验结果与讨论 | 第38-39页 |
| 2.4.1 γ-Al_2O_3为载体负载氯化钡催化剂结果与讨论 | 第38页 |
| 2.4.2 SiO_2为载体负载氯化钡催化剂结果与讨论 | 第38-39页 |
| 2.4.3 ZSM-5 分子筛负载氯化钡催化剂结果与讨论 | 第39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 三氯氢硅歧化反应动力学研究 | 第41-54页 |
| 3.1 引言 | 第41-42页 |
| 3.2 实验药品和设备 | 第42-43页 |
| 3.2.1 实验药品 | 第42页 |
| 3.2.2 分析方法 | 第42页 |
| 3.2.3 实验装置及方法 | 第42-43页 |
| 3.3 催化剂表征 | 第43-44页 |
| 3.3.1 比表面积和孔径测试(BET) | 第43页 |
| 3.3.2 显微结构（SEM）分析 | 第43-44页 |
| 3.3.3 透射电镜（TEM）分析 | 第44页 |
| 3.4 三氯氢硅歧化反应结果与讨论 | 第44-47页 |
| 3.4.1 催化剂催化活性比较 | 第44-45页 |
| 3.4.2 反应温度对三氯氢硅歧化反应的影响 | 第45-46页 |
| 3.4.3 催化剂填充量对三氯氢硅歧化反应的影响 | 第46-47页 |
| 3.4.4 催化剂颗粒大小对三氯氢硅歧化反应的影响 | 第47页 |
| 3.5 三氯氢硅歧化反应动力学模型 | 第47-50页 |
| 3.5.1 三氯氢硅歧化反应机理 | 第47-48页 |
| 3.5.2 动力学模型 | 第48-50页 |
| 3.6 催化剂的表征 | 第50-52页 |
| 3.6.1 比表面积和孔径测试 | 第50-51页 |
| 3.6.2 SEM测试 | 第51页 |
| 3.6.3 TEM测试 | 第51-52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-54页 |
| 第四章 三氯氢硅歧化反应精馏制备硅烷探究 | 第54-71页 |
| 4.1 引言 | 第54-55页 |
| 4.2 实验药品、仪器和分析方法 | 第55-56页 |
| 4.2.1 实验药品 | 第55页 |
| 4.2.2 实验仪器 | 第55页 |
| 4.2.3 实验分析方法 | 第55-56页 |
| 4.3 实验设备及流程 | 第56-59页 |
| 4.3.1 二氯氢硅歧化反应装置及流程 | 第56-57页 |
| 4.3.2 三氯氢硅歧化反应精馏装置及流程 | 第57-59页 |
| 4.4 实验结果分析与讨论 | 第59-69页 |
| 4.4.1 二氯氢硅歧化反应结果分析 | 第59-60页 |
| 4.4.2 二氯氢硅歧化反应精馏中试实验结果分析 | 第60-63页 |
| 4.4.3 三氯氢硅歧化反应精馏中试实验结果分析 | 第63-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 结论 | 第71-72页 |
| 5.2 展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
