| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 光栅耦合器的研究概述 | 第9-15页 |
| 1.3 本课题主要研究内容及章节安排 | 第15-17页 |
| 2 光栅耦合器的基本理论与分析方法 | 第17-30页 |
| 2.1 光栅耦合器的基本原理 | 第17-21页 |
| 2.2 光栅耦合器的解析与数值计算方法 | 第21-23页 |
| 2.3 从纳米光波导到单模光纤的耦合 | 第23-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-30页 |
| 3 亚波长结构光栅耦合器的设计与仿真 | 第30-49页 |
| 3.1 引言 | 第30页 |
| 3.2 亚波长结构光栅耦合器二维模型的建立与仿真 | 第30-42页 |
| 3.3 亚波长结构光栅耦合器三维模型的设计与仿真 | 第42-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 亚波长结构光栅耦合器的工艺制作、实验测试及方案改进 | 第49-58页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 亚波长结构光栅耦合器的工艺制作 | 第49-54页 |
| 4.3 亚波长结构光栅耦合器的实验测试与结果分析 | 第54-55页 |
| 4.4 亚波长结构光栅耦合器的设计优化 | 第55-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 5 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 工作总结 | 第58-59页 |
| 5.2 未来展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 附录 1：攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第67页 |