| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8-9页 |
| 1.2 纳米孔检测技术的产生与发展 | 第9-19页 |
| 1.2.1 生物纳米孔 | 第9-11页 |
| 1.2.2 固态纳米孔 | 第11-15页 |
| 1.2.3 复合纳米孔 | 第15-16页 |
| 1.2.4 集成横向纳米电极的纳米孔 | 第16-19页 |
| 1.3 本章小结 | 第19-20页 |
| 1.4 本课题的研究内容和技术路线 | 第20-21页 |
| 1.4.1 研究目标 | 第20页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第20页 |
| 1.4.3 技术路线 | 第20-21页 |
| 第二章 固态纳米孔的制备与应用 | 第21-32页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 聚焦离子束的原理与作用 | 第21-22页 |
| 2.3 聚焦离子束制备固态纳米孔 | 第22-24页 |
| 2.3.1 材料及仪器 | 第22-24页 |
| 2.3.2 纳米孔的加工 | 第24页 |
| 2.4 实验结果 | 第24-30页 |
| 2.4.1 spot模式下制备纳米孔 | 第25-26页 |
| 2.4.2 circle模式下制备纳米孔 | 第26-27页 |
| 2.4.3 纳米孔在易位事件检测中的应用 | 第27-30页 |
| 2.5 分析及讨论 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 固态纳米孔制备的优化 | 第32-42页 |
| 3.1 引言 | 第32页 |
| 3.2 双束型聚焦离子束(DB-FIB)制备固态纳米孔 | 第32-36页 |
| 3.2.1 双束型聚焦离子束的工作原理 | 第32-33页 |
| 3.2.2 双束型聚焦离子束优化纳米孔的制备 | 第33-36页 |
| 3.3 氦离子显微镜(HIM)制备固态纳米孔 | 第36-40页 |
| 3.3.1 氦离子显微镜(HIM)的工作原理 | 第36页 |
| 3.3.2 氦离子显微镜(HIM)优化纳米孔的制备 | 第36-40页 |
| 3.4 分析及讨论 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 集成孔内纳米电极纳米孔的制备 | 第42-50页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 纳米电极的制备 | 第42-46页 |
| 4.2.1 实验材料与仪器 | 第42-44页 |
| 4.2.2 纳米电极的制备流程 | 第44-46页 |
| 4.2.3 纳米电极的绝缘层处理 | 第46页 |
| 4.3 集成孔内纳米电极的纳米孔的制备 | 第46-49页 |
| 4.3.1 集成孔内纳米电极纳米孔的制备 | 第47页 |
| 4.3.2 集成孔内纳米电极纳米孔的表征 | 第47-49页 |
| 4.4 分析与讨论 | 第49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-53页 |
| 5.1 工作总结 | 第50-51页 |
| 5.2 前景展望 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-59页 |
| 硕士阶段发表文章 | 第59页 |