| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 射频微电子机械系统(RF MEMS)简介 | 第8-9页 |
| 1.1.1 RF MEMS的特点 | 第8页 |
| 1.1.2 RF MEMS的应用 | 第8-9页 |
| 1.2 RF MEMS开关简介 | 第9-13页 |
| 1.2.1 RF MEMS开关特点 | 第9-10页 |
| 1.2.2 RF MEMS开关构造 | 第10-11页 |
| 1.2.3 热驱动MEMS开关的研究发展 | 第11-13页 |
| 1.3 微波均衡器简介 | 第13-17页 |
| 1.3.1 均衡器原理 | 第13-14页 |
| 1.3.2 吸收式微波均衡器分类 | 第14-15页 |
| 1.3.3 微带均衡器研究现状 | 第15-17页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第17-18页 |
| 第二章 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器理论分析 | 第18-28页 |
| 2.1 微波均衡器理论模型 | 第18-19页 |
| 2.2 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器理论模型 | 第19-22页 |
| 2.2.1 衰减形状可变微波均衡器理论模型 | 第20页 |
| 2.2.2 最大衰减量可变微波均衡器理论模型 | 第20-22页 |
| 2.3 热驱动RF MEMS开关理论 | 第22-27页 |
| 2.3.1 V型梁热驱动器动力学模型 | 第22-24页 |
| 2.3.2 热驱动RF MEMS开关的电磁特性分析 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器仿真与设计 | 第28-46页 |
| 3.1 仿真软件介绍 | 第28页 |
| 3.2 下降曲线族最大衰减量可变微波均衡器 | 第28-37页 |
| 3.2.1 下降曲线族可变微波均衡器ADS仿真和设计 | 第29-31页 |
| 3.2.2 下降曲线族可变微波均衡器HFSS仿真和设计 | 第31-37页 |
| 3.3 上升曲线族最大衰减量可变微波均衡器 | 第37-42页 |
| 3.3.1 上升曲线族可变微波均衡器ADS仿真和设计 | 第37-38页 |
| 3.3.2 上升曲线族可变微波均衡器HFSS仿真和设计 | 第38-42页 |
| 3.4 RF MEMS推拉开关模拟和设计 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 基于RF MEMS开关的可变微波均衡器版图设计 | 第46-52页 |
| 4.1 MetalMUMPs加工工艺介绍 | 第46-48页 |
| 4.2 可变微波均衡器和RF MEMS开关版图 | 第48-51页 |
| 4.2.1 MetalMUMPs工艺版图设计规则 | 第48-49页 |
| 4.2.2 RF MEMS推拉开关版图 | 第49页 |
| 4.2.3 下降曲线族可变微波均衡器版图 | 第49-50页 |
| 4.2.4 上升曲线族可变微波均衡器版图 | 第50-51页 |
| 4.3 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 论文总结 | 第52-53页 |
| 5.2 课题展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 作者简介 | 第60页 |
