| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第13-14页 |
| 1.2 超精密定位控制技术研究现状 | 第14-29页 |
| 1.2.1 音圈电机研究现状 | 第15-18页 |
| 1.2.2 高精度功率放大器技术研究现状 | 第18-23页 |
| 1.2.3 超精密定位运动控制技术研究现状 | 第23-26页 |
| 1.2.4 纳米级位置传感器技术研究现状 | 第26-28页 |
| 1.2.5 超精密定位控制技术研究现状总结 | 第28-29页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 音圈电机高频运动特性研究 | 第31-47页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 超精密音圈电机定位平台 | 第31-32页 |
| 2.3 音圈电机数学模型建立 | 第32-34页 |
| 2.3.1 音圈电机工作原理 | 第32-33页 |
| 2.3.2 音圈电机模型方程 | 第33-34页 |
| 2.4 电涡流阻尼特性研究 | 第34-38页 |
| 2.4.1 电涡流阻尼力产生机理分析 | 第34-36页 |
| 2.4.2 电涡流阻尼系数辨识实验 | 第36-38页 |
| 2.5 迟滞特性研究 | 第38-43页 |
| 2.5.1 迟滞特性产生机理分析 | 第38-40页 |
| 2.5.2 迟滞特性测试实验 | 第40-43页 |
| 2.6 机械谐振测试 | 第43-46页 |
| 2.7 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 不对称级联H桥功率变换器研究 | 第47-78页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 不对称级联H桥功率变换器拓扑结构研究 | 第47-58页 |
| 3.2.1 三电平功率变换器电流纹波分析 | 第48-54页 |
| 3.2.2 不对称级联H桥功率变换器原理 | 第54-55页 |
| 3.2.3 多频率载波PWM调制方法 | 第55-58页 |
| 3.3 不对称级联H桥七电平功率变换器电压谐波分析 | 第58-71页 |
| 3.3.1 三电平功率变换器电压谐波分析 | 第58-64页 |
| 3.3.2 七电平功率变换器电压谐波分析 | 第64-67页 |
| 3.3.3 LCCR滤波器设计 | 第67-71页 |
| 3.4 不对称级联H桥七电平功率变换器实验 | 第71-77页 |
| 3.4.1 七电平功率变换器实验平台 | 第71-72页 |
| 3.4.2 七电平功率变换器电压谐波实验 | 第72-76页 |
| 3.4.3 七电平功率变换器电流纹波实验 | 第76-77页 |
| 3.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 第4章 开关线性混合功率放大器研究 | 第78-97页 |
| 4.1 引言 | 第78页 |
| 4.2 开关线性混合功率放大器工作原理 | 第78-80页 |
| 4.3 线性功率放大器分析及设计 | 第80-85页 |
| 4.3.1 线性功率放大器模型分析 | 第80-81页 |
| 4.3.2 模拟双PI控制器设计 | 第81-84页 |
| 4.3.3 线性功率放大器损耗计算 | 第84-85页 |
| 4.4 开关线性混合功率放大器控制方法研究 | 第85-91页 |
| 4.4.1 开关器件压摆率设计 | 第86-87页 |
| 4.4.2 线性功率放大器补偿电压分析 | 第87-89页 |
| 4.4.3 开关线性混合功率放大器控制系统设计 | 第89-91页 |
| 4.5 开关线性混合功率放大器实验 | 第91-95页 |
| 4.6 本章小结 | 第95-97页 |
| 第5章 超精密定位运动控制策略研究 | 第97-127页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 音圈电机高精度轨迹跟踪控制策略研究 | 第97-109页 |
| 5.2.1 高精度运动轨迹规划 | 第97-99页 |
| 5.2.2 自抗扰控制策略研究 | 第99-103页 |
| 5.2.3 仿真结果分析 | 第103-109页 |
| 5.3 音圈电机高精度点对点定位控制策略研究 | 第109-118页 |
| 5.3.1 复合非线性反馈控制策略研究 | 第110-112页 |
| 5.3.2 仿真结果分析 | 第112-118页 |
| 5.4 超精密定位运动控制实验 | 第118-126页 |
| 5.5 本章小结 | 第126-127页 |
| 结论 | 第127-129页 |
| 参考文献 | 第129-137页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第137-140页 |
| 致谢 | 第140-141页 |
| 个人简历 | 第141页 |