| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 前言 | 第9-10页 |
| 1.2 铜锌锡硫（CZTS）薄膜太阳电池 | 第10-12页 |
| 1.2.1 CZTS的性质和特点 | 第10-11页 |
| 1.2.2 CZTS太阳电池的结构 | 第11页 |
| 1.2.3 CZTS太阳电池研究概况 | 第11-12页 |
| 1.3 CZTS薄膜的制备方法 | 第12-19页 |
| 1.3.1 热蒸发法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 电子束蒸发法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 溅射法 | 第14-15页 |
| 1.3.4 喷雾热解法 | 第15-17页 |
| 1.3.5 电化学沉积法 | 第17-18页 |
| 1.3.6 其他制备方法 | 第18-19页 |
| 1.4 选题意义及研究内容 | 第19-21页 |
| 1.4.1 选题意义 | 第19页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 CZTS薄膜的制备及表征方法 | 第21-29页 |
| 2.1 实验流程图 | 第21页 |
| 2.2 磁控溅射镀膜 | 第21-26页 |
| 2.2.1 磁控溅射镀膜技术 | 第21-22页 |
| 2.2.2 实验材料与设备 | 第22-24页 |
| 2.2.3 薄膜制备条件 | 第24-25页 |
| 2.2.4 薄膜沉积过程 | 第25-26页 |
| 2.3 CZTS薄膜的表征方法 | 第26-29页 |
| 2.3.1 薄膜组分及形貌分析 | 第26页 |
| 2.3.2 薄膜相结构分析 | 第26-28页 |
| 2.3.2.1 X射线衍射仪 | 第26-27页 |
| 2.3.2.2 拉曼光谱仪 | 第27-28页 |
| 2.3.3 薄膜厚度测量 | 第28页 |
| 2.3.4 薄膜光学性能测量 | 第28-29页 |
| 第3章 溅射工艺和硫化工艺对薄膜的结构和光学特性的影响 | 第29-49页 |
| 3.1 溅射气压 | 第29-33页 |
| 3.1.1 溅射气压对薄膜组分的影响 | 第29-30页 |
| 3.1.2 溅射气压对薄膜相结构的影响 | 第30-31页 |
| 3.1.3 溅射气压对薄膜表面形貌的影响 | 第31-32页 |
| 3.1.4 溅射气压对薄膜生长速率的影响 | 第32-33页 |
| 3.2 铜的溅射功率 | 第33-37页 |
| 3.2.1 铜的溅射功率对薄膜组分影响 | 第34页 |
| 3.2.2 铜的溅射功率对薄膜相结构的影响 | 第34-36页 |
| 3.2.3 铜的溅射功率对薄膜表面形貌的影响 | 第36-37页 |
| 3.3 硫化温度 | 第37-41页 |
| 3.3.1 硫化温度对薄膜组分的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 硫化温度对薄膜相结构的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.3 硫化温度对薄膜表面形貌的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.4 不同硫化温度对薄膜光学性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 硫化时间 | 第41-47页 |
| 3.4.1 硫化时间对薄膜组分的影响 | 第41-42页 |
| 3.4.2 硫化时间对薄膜相结构的影响 | 第42-44页 |
| 3.4.3 硫化时间对薄膜表面形貌的影响 | 第44-45页 |
| 3.4.4 硫化时间对薄膜光学性能的影响 | 第45-47页 |
| 3.5 CZTS薄膜太阳电池的制备 | 第47页 |
| 3.6 小结 | 第47-49页 |
| 第4章 固相反应法制备铜锌锡硫粉体材料 | 第49-54页 |
| 4.1 组分测定与分析 | 第49-50页 |
| 4.2 衍射谱图分析 | 第50-52页 |
| 4.3 形貌分析 | 第52页 |
| 4.4 光学性能分析 | 第52-53页 |
| 4.5 小结 | 第53-54页 |
| 第5章 结论与展望 | 第54-56页 |
| 5.1 主要结论 | 第54-55页 |
| 5.2 论文创新点 | 第55页 |
| 5.3 未来的工作和展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和研究成果 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |