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基于色散共焦法的精密元件三维检测方法研究

学位论文的主要创新点第3-4页
摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第一章 绪论第9-17页
    1.1 研究背景及意义第9-11页
    1.2 共焦检测技术国内外研究现状第11-13页
        1.2.1 国外研究现状第11-12页
        1.2.2 国内研究现状第12-13页
    1.3 本课题研究的关键问题第13-14页
    1.4 本文研究内容及结构安排第14-17页
第二章 色散共焦位移传感器研究第17-25页
    2.1 激光共焦法的测量现状及分析第17-18页
    2.2 色散共焦位移传感器应用第18-19页
    2.3 色散共焦位移计工作原理研究第19-24页
    2.4 本章小结第24-25页
第三章 精密元件空间数据采集第25-41页
    3.1 微位移系统的三维模型第25-35页
        3.1.1 微位移系统的总体结构及工作原理第26-27页
        3.1.2 压电陶瓷驱动器研究第27-29页
        3.1.3 微动平台机械模型第29-33页
        3.1.4 运动控制系统第33-35页
    3.2 数据采集路径规划第35-37页
    3.3 精密元件固定与数据传输第37-39页
    3.4 本章小结第39-41页
第四章 物体三维重建研究第41-55页
    4.1 三维点云的生成第41-43页
    4.2 去除离群点第43-45页
    4.3 NURBS曲面生成的研究第45-53页
        4.3.1 NURBS曲面的数学形式第45-47页
        4.3.2 NURBS曲面的性质特点第47-48页
        4.3.3 双三次NURBS曲面的矩阵表示第48-50页
        4.3.4 绘制NURBS曲面生成第50-53页
    4.4 本章小结第53-55页
第五章 精密元件三维重建实验验证第55-65页
    5.1 色散共焦检测系统设计方案第55-59页
        5.1.1 色散共焦检测系统的硬件搭建第55-57页
        5.1.2 色散共焦检测系统控制软件组成第57-59页
    5.2 三维重建实验结果第59-63页
    5.3 本章小结第63-65页
第六章 总结与展望第65-67页
    6.1 总结第65-66页
    6.2 展望第66-67页
参考文献第67-71页
发表论文和参加科研情况第71-73页
致谢第73页

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