相移干涉仪仿真分析及模块化设计研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 干涉仪与平面度计量的发展 | 第7-12页 |
| 1.1.1 干涉仪的发展 | 第7页 |
| 1.1.2 计量中的等厚、等倾与相移干涉仪 | 第7-10页 |
| 1.1.3 商品化相移干涉仪及其应用 | 第10-12页 |
| 1.2 模块化设计 | 第12-14页 |
| 1.2.1 模块化简介 | 第12页 |
| 1.2.2 模块化在系统结构中的影响 | 第12-13页 |
| 1.2.3 干涉仪的模块化概念 | 第13-14页 |
| 1.3 光电仪器设计中的辅助软件应用 | 第14-15页 |
| 1.3.1 基于FRED软件的光路设计 | 第14页 |
| 1.3.2 基于FRED软件的光路追迹 | 第14-15页 |
| 1.3.3 基于FRED软件的测试结果分析 | 第15页 |
| 1.4 本文内容 | 第15-17页 |
| 2 计量用相移干涉系统的设计 | 第17-42页 |
| 2.1 平面度计量体系及对干涉仪的要求 | 第17-22页 |
| 2.1.1 平面度计量体系的构成 | 第17-21页 |
| 2.1.2 平晶计量对相移干涉仪的要求 | 第21-22页 |
| 2.2 平晶测量方案设计 | 第22-32页 |
| 2.2.1 标准平晶的特征截面的定义与获取方法 | 第22-24页 |
| 2.2.2 标准平晶的绝对检验方法 | 第24-27页 |
| 2.2.3 长平晶与研磨面平尺的拼接测量方法 | 第27-29页 |
| 2.2.4 研磨面平尺的斜入射测量方法 | 第29-32页 |
| 2.3 计量用相移干涉仪的模块化设计 | 第32-36页 |
| 2.3.1 干涉仪硬件模块的划分及规格指标 | 第32-33页 |
| 2.3.2 干涉仪软件模块划分及功能要求 | 第33-34页 |
| 2.3.3 平晶测量模块的设计开发方案 | 第34-36页 |
| 2.4 相移干涉仪软件的模块化划分 | 第36-41页 |
| 2.4.1 各模块功能及接口要求 | 第36-37页 |
| 2.4.2 图像采集模块的接口规范设计 | 第37-39页 |
| 2.4.3 波面数字指标提取模块的结果显示 | 第39-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 3 计量用干涉仪的仿真 | 第42-56页 |
| 3.1 干涉仪的结构仿真 | 第42-50页 |
| 3.1.1 基于FRED软件的干涉仪光路设计 | 第42-46页 |
| 3.1.2 计量用干涉仪的光线追迹与测试 | 第46-50页 |
| 3.1.3 干涉仪内部的杂散光仿真分析 | 第50页 |
| 3.2 部分模块的设计与仿真 | 第50-55页 |
| 3.2.1 变倍模块与CCD探测系统 | 第50-51页 |
| 3.2.2 分光棱镜表面膜层对成像的影响 | 第51-53页 |
| 3.2.3 掠入射测试中的反射率分析 | 第53-54页 |
| 3.2.4 斐索型干涉仪的对点模块 | 第54-55页 |
| 3.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 相移干涉仪在平晶计量中的应用实践 | 第56-77页 |
| 4.1 标准平晶的三面互检 | 第56-63页 |
| 4.1.1 实验光路及实验方法 | 第56-57页 |
| 4.1.2 数据处理及结果分析 | 第57-63页 |
| 4.2 干涉仪内置程序的算法验证 | 第63-66页 |
| 4.3 研磨面平尺的拼接测试 | 第66-70页 |
| 4.3.1 拼接测试实验思路 | 第66页 |
| 4.3.2 拼接测试实验光路及实验办法 | 第66-68页 |
| 4.3.3 拼接测试面型数据及处理分析 | 第68-70页 |
| 4.4 研磨面平尺的斜入射测试 | 第70-74页 |
| 4.4.1 倾斜测试实验思路 | 第71页 |
| 4.4.2 倾斜测试实验光路及实验办法 | 第71-72页 |
| 4.4.3 倾斜测试实验数据 | 第72-74页 |
| 4.5 拼接测试与倾斜测量数据对比 | 第74-75页 |
| 4.6 本章小结 | 第75-77页 |
| 5 总结与展望 | 第77-79页 |
| 5.1 总结 | 第77页 |
| 5.2 对未来的展望 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 附录 | 第83-87页 |
