| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 透明导电薄膜概述 | 第12-15页 |
| 1.2 ZnO薄膜的结构与性质 | 第15-20页 |
| 1.3 ZnO薄膜研究现状与发展趋势 | 第20-27页 |
| 1.4 本文的研究工作 | 第27-28页 |
| 第二章 ZnO基透明导电薄膜的制备与工艺优化 | 第28-48页 |
| 2.1 磁控溅射法制备ZnO薄膜工艺流程 | 第28-30页 |
| 2.2 ZnO薄膜的微观结构与光电性能表征 | 第30-34页 |
| 2.3 工艺参数对薄膜结构与光电性能的影响 | 第34-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 ZnO薄膜表面界面特性与结构优化设计 | 第48-77页 |
| 3.1 薄膜退火、O化学态与光电性能的关联 | 第48-56页 |
| 3.2 薄膜厚度、界面状态与光电性能的关联 | 第56-62页 |
| 3.3 湿热环境下ZnO薄膜电学性能退化机理 | 第62-71页 |
| 3.4 ZnO薄膜结构的表面改性研究 | 第71-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-77页 |
| 第四章 ZnO薄膜的掺杂改性研究 | 第77-91页 |
| 4.1 Al的掺杂浓度对于薄膜的光电性能的影响 | 第77-82页 |
| 4.2 H钝化Al掺杂对ZnO薄膜光电性能的影响 | 第82-85页 |
| 4.3 In、Ga共掺对薄膜微结构与光电性能的影响 | 第85-89页 |
| 4.4 本章小结 | 第89-91页 |
| 第五章 ZnO薄膜的电子传输机理研究 | 第91-107页 |
| 5.1 ZnO基透明导电薄膜的电子散射机制 | 第91-95页 |
| 5.2 ZnO基透明导电薄膜变温条件下的电学性能 | 第95-98页 |
| 5.3 ZnO基透明导电薄膜的电子传输机制分析 | 第98-106页 |
| 5.4 本章小结 | 第106-107页 |
| 第六章 总结与展望 | 第107-110页 |
| 参考文献 | 第110-124页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第124-125页 |
| 致谢 | 第125页 |