| 中文摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 中文文摘 | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 课题来源 | 第11页 |
| 1.3 移相干涉技术的发展状况 | 第11-14页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 检测原理分析 | 第16-28页 |
| 2.1 引言 | 第16-17页 |
| 2.2 偏振干涉的理论分析 | 第17-20页 |
| 2.3 移相干涉的方法分析和选择 | 第20-22页 |
| 2.3.1 偏振分光棱镜分光、半透半反镜同步移相法 | 第20-21页 |
| 2.3.2 偏振分光棱镜分光、波片同步移相法 | 第21-22页 |
| 2.3.3 二维光栅分光、偏振同步移相法 | 第22页 |
| 2.3.4 对比与选择 | 第22页 |
| 2.4 二维光栅分光、偏振移相原理分析 | 第22-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 同步移相干涉测量系统设计 | 第28-42页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 光路各部分的设计和分析 | 第28-35页 |
| 3.2.1 光源部分设计 | 第28-29页 |
| 3.2.2 偏振分光部分设计 | 第29-31页 |
| 3.2.3 检测光路部分设计 | 第31页 |
| 3.2.4 移相分光的设计及其效果分析 | 第31-34页 |
| 3.2.5 偏振矩阵的设计 | 第34-35页 |
| 3.2.6 滤光片的选择 | 第35页 |
| 3.3 实验光路搭建 | 第35-37页 |
| 3.3.1 实验光路 | 第35-36页 |
| 3.3.2 实验光路调节 | 第36-37页 |
| 3.4 图像分析 | 第37-41页 |
| 3.4.1 条纹对比度的分析 | 第37-39页 |
| 3.4.2 PV值和RMS值描述面形偏差 | 第39页 |
| 3.4.3 四幅干涉图像一致性分析 | 第39-40页 |
| 3.4.4 同步移相干涉图像分析 | 第40-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 检测系统误差分析 | 第42-52页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 波片误差分析 | 第42-47页 |
| 4.2.1 四分之一波片QW_1、QW_2误差分析 | 第42-44页 |
| 4.2.2 四分之一波片QW_3误差分析 | 第44-47页 |
| 4.3 偏振分光棱镜误差分析 | 第47页 |
| 4.4 二维光栅误差分析 | 第47-48页 |
| 4.5 偏振矩阵误差分析 | 第48-49页 |
| 4.6 元件面形偏差分析 | 第49-50页 |
| 4.7 光学样板面形偏差 | 第50页 |
| 4.8 本章小结 | 第50-52页 |
| 第5章 系统的改进 | 第52-58页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 光源部分的改进方案 | 第52-54页 |
| 5.2.1 会聚光光源设计 | 第52-54页 |
| 5.2.2 激光器的改进方案 | 第54页 |
| 5.3 偏振分光镜的改进方案 | 第54-55页 |
| 5.4 组合式偏振分光棱方案 | 第55-56页 |
| 5.5 二维光栅分光改进方案 | 第56页 |
| 5.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 第6章 总结和展望 | 第58-60页 |
| 6.1 工作总结 | 第58页 |
| 6.2 课题的创新点 | 第58-59页 |
| 6.3 工作展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 攻读学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 个人简历 | 第70-74页 |