| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| ·微纳结构及微纳技术 | 第10-12页 |
| ·维胶体晶体 | 第12-14页 |
| ·SiO_2纳米颗粒的应用 | 第14-15页 |
| ·本论文的研究内容 | 第15-16页 |
| 参考文献 | 第16-18页 |
| 2 光学理论计算 | 第18-28页 |
| ·薄膜特征矩阵 | 第18-20页 |
| ·严格耦合波分析理论 | 第20-22页 |
| ·两种方法的比较 | 第22-27页 |
| 参考文献 | 第27-28页 |
| 3 材料与制备工艺 | 第28-36页 |
| ·化学材料与实验设备 | 第28-29页 |
| ·化学试剂 | 第28页 |
| ·实验设备 | 第28页 |
| ·测试设备 | 第28-29页 |
| ·Stober方法制备SiO_2纳米颗粒 | 第29-30页 |
| ·衬底清洗 | 第30-31页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第31-35页 |
| ·溶胶凝胶(sol-gel)法 | 第31-32页 |
| ·静电自组装工艺 | 第32-35页 |
| 参考文献 | 第35-36页 |
| 4 SiO_2纳米颗粒制备宽波段大角度减反膜 | 第36-51页 |
| ·减反射膜概述 | 第36-38页 |
| ·减反射膜的应用 | 第36页 |
| ·减反射膜的原理 | 第36-37页 |
| ·减反射膜设计方案 | 第37-38页 |
| ·光学常数拟合 | 第38-40页 |
| ·玻璃基减反射膜的制备与测试 | 第40-47页 |
| ·硅基减反射膜的制备与测试 | 第47-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 5 SiO_2纳米颗粒阵列提高GaN基LED出光效率 | 第51-64页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·LED发光原理及提高光效解决方案 | 第52-57页 |
| ·LED的基本结构与发光原理 | 第52-53页 |
| ·发光效率 | 第53-54页 |
| ·提高LED出光效率的方法 | 第54-57页 |
| ·实验结果与讨论 | 第57-63页 |
| 参考文献 | 第63-64页 |
| 6 结论与展望 | 第64-65页 |
| 硕士期间取得成果 | 第65页 |