| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·Ti-Al-N膜 | 第8-10页 |
| ·薄膜的热稳定性 | 第10-12页 |
| ·回复 | 第11页 |
| ·再结晶 | 第11页 |
| ·固态相变 | 第11-12页 |
| ·几种氮化物薄膜的热稳定性 | 第12-18页 |
| ·TiN薄膜的热稳定性 | 第12页 |
| ·TiAlN薄膜的热稳定性 | 第12-13页 |
| ·TiCrN薄膜的热稳定性 | 第13-14页 |
| ·CrAlN薄膜的热稳定性 | 第14-16页 |
| ·Ti-Cr-Al-N薄膜的热稳定性 | 第16-17页 |
| ·Ti-Al-Si-N薄膜的热稳定性 | 第17-18页 |
| ·添加Cr对Ti-Al-N膜层结构和热性能的作用 | 第18页 |
| ·选题意义、主要研究内容及路线 | 第18-19页 |
| ·选题意义 | 第18页 |
| ·主要研究内容及路线 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 (Ti,Al)N膜层的制备与表征 | 第20-26页 |
| ·膜层制备实验设备 | 第20-21页 |
| ·薄膜制备 | 第21-23页 |
| ·制备原理 | 第21页 |
| ·基体材料的选择与预处理 | 第21页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第21-22页 |
| ·薄膜加热处理工艺 | 第22页 |
| ·薄膜热分析实验 | 第22-23页 |
| ·膜层表征 | 第23-25页 |
| ·薄膜的相结构分析 | 第23页 |
| ·膜层微观形貌检测 | 第23页 |
| ·膜层纳米压痕硬度测定 | 第23-24页 |
| ·膜层摩擦性能测定 | 第24页 |
| ·膜层与基体结合力测定 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 (Ti,Al)N膜层的热稳定性分析 | 第26-37页 |
| ·“5-5”靶(Ti,Al)N膜的热稳定性 | 第26-34页 |
| ·膜层物相及热分析 | 第26-30页 |
| ·保护气氛下膜层物相及热分析 | 第26-28页 |
| ·空气条件下膜层物相及热分析 | 第28-30页 |
| ·膜层表面形貌分析 | 第30-33页 |
| ·高温加热后膜层硬度变化分析 | 第33-34页 |
| ·“3-7”靶材(Ti,Al) N膜的抗氧化性能 | 第34-36页 |
| ·空气气氛下加热处理后膜层物相变化分析 | 第34页 |
| ·表面形貌观察 | 第34-35页 |
| ·膜层硬度变化分析 | 第35-36页 |
| ·靶材比例对(Ti,Al)N膜层抗氧化性的影响 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 (Ti,Cr,Al)N膜层的结构、性能及热稳定 | 第37-46页 |
| ·(Ti,Cr,Al)N膜层的组成结构与性能 | 第37-42页 |
| ·相组成分析 | 第37页 |
| ·表面形貌分析 | 第37-39页 |
| ·硬度分析 | 第39页 |
| ·摩擦性能分析 | 第39-40页 |
| ·膜基结合力分析 | 第40-42页 |
| ·(Ti,Cr,Al)N膜层的热性能 | 第42-45页 |
| ·(Ti,Cr,Al)N薄膜的物相结构 | 第42-43页 |
| ·表面形貌观察 | 第43-44页 |
| ·膜层表面硬度变化 | 第44页 |
| ·Cr元素对(Ti,Al)N膜层耐高温的影响 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-54页 |
| 作者简介 | 第54页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第54页 |