关于扫描隧道显微镜系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 STM简介 | 第9-19页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·扫描探针显微镜简介 | 第10-12页 |
| ·扫描探针显微镜的发展历史 | 第10-11页 |
| ·扫描探针显微镜的基本结构 | 第11-12页 |
| ·扫描隧道显微镜的工作原理与主要构成部件 | 第12-16页 |
| ·量子隧穿原理 | 第13-14页 |
| ·前置放大器 | 第14页 |
| ·探针 | 第14-15页 |
| ·粗步进装置 | 第15页 |
| ·隔音减震装置 | 第15-16页 |
| ·STM的工作模式 | 第16-17页 |
| ·开环模式 | 第16-17页 |
| ·闭环模式 | 第17页 |
| ·本文的研究工作 | 第17-19页 |
| 第二章 自制高稳定性惯性压电马达 | 第19-32页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第19-20页 |
| ·压电陶瓷管 | 第20-21页 |
| ·几种成熟的压电步进马达及其优缺点 | 第21-25页 |
| ·虱子(Louse)马达 | 第21-22页 |
| ·甲虫(Beetle)马达 | 第22-23页 |
| ·Walker | 第23-24页 |
| ·惯性压电马达 | 第24-25页 |
| ·自制高稳定性的惯性压电马达 | 第25-32页 |
| ·引言 | 第25-26页 |
| ·基本结构 | 第26页 |
| ·驱动波形及运动原理 | 第26-28页 |
| ·实验数据及结论 | 第28-29页 |
| ·结果分析 | 第29-32页 |
| 第三章 基于自制惯性压电马达基础上的STM系统 | 第32-41页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·前置放大器 | 第32-33页 |
| ·减震装置 | 第33-34页 |
| ·镜体结构 | 第34-36页 |
| ·控制软件 | 第36-38页 |
| ·粗步进控制程序 | 第36-37页 |
| ·细逼近程序 | 第37-38页 |
| ·扫描成像程序 | 第38页 |
| ·扫描探针的制备 | 第38-39页 |
| ·机械裁剪法制备Pt80/Ir20探针 | 第38-39页 |
| ·交流电腐蚀法制备钨探针 | 第39页 |
| ·利用自制STM系统获得的石墨原子图像 | 第39-41页 |
| 第四章 工作总结与展望 | 第41-43页 |
| ·工作总结 | 第41页 |
| ·展望 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-47页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
