AZO薄膜的制备和性能研究及其在CIGS太阳能电池中的应用

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-23页
·课题研究的来源及背景	第9-10页
·AZO 透明导电薄膜概述	第10-14页
·透明导电薄膜简介	第10-11页
·ZnO 材料的结构特征	第11页
·ZnO 材料的基本特性	第11-12页
·AZO 薄膜的导电机理	第12-13页
·AZO 薄膜的研究进展状况	第13-14页
·AZO 薄膜在CIGS 太阳能电池中的应用	第14-18页
·CIGS 太阳能电池简介	第14-17页
·AZO 薄膜在CIGS 太阳能电池中的作用	第17-18页
·AZO 薄膜的制备	第18-20页
·磁控溅射法简介	第18-19页
·AZO 薄膜的射频磁控溅射法制备	第19-20页
·课题研究的内容、目的及意义	第20-23页
·课题研究的内容	第20-21页
·课题研究的目的和意义	第21-23页
第二章 试验方法与过程	第23-28页
·溅射镀膜装置	第23页
·溅射材料	第23-24页
·玻璃衬底的清洗与处理	第24页
·试验参数与过程	第24-26页
·样品分析	第26-28页
第三章 结果与讨论	第28-48页
·制备工艺参数对AZO 薄膜性能的影响	第28-39页
·溅射气压对AZO 薄膜性能的影响	第28-31页
·溅射功率对AZO 薄膜性能的影响	第31-34页
·衬底加热温度对AZO 薄膜性能的影响	第34-37页
·厚度对AZO 薄膜性能的影响	第37-39页
·AZO 薄膜的形貌	第39-41页
·掺氢AZO 薄膜的性能研究	第41-43页
·AZO 薄膜对CIGS 太阳能电池性能的影响	第43-48页
结论	第48-50页
参考文献	第50-55页
致谢	第55页