菲索干涉仪移相器关键技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第11-12页 |
| ·菲索干涉仪 | 第12-15页 |
| ·课题研究现状及发展趋势 | 第15-18页 |
| ·主要研究内容及结构安排 | 第18-21页 |
| 第2章 移相器微位移机构方案设计 | 第21-27页 |
| ·微位移驱动器 | 第21-22页 |
| ·传动导轨 | 第22-23页 |
| ·微位移机构的主要结构形式 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章 压电陶瓷驱动器特性研究 | 第27-33页 |
| ·压电/电致伸缩效应 | 第27-28页 |
| ·压电陶瓷驱动器的基本结构 | 第28-29页 |
| ·压电陶瓷驱动器的特性 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 柔性铰链结构设计与分析 | 第33-63页 |
| ·柔性铰链设计 | 第33-46页 |
| ·柔性换向平台的力学分析 | 第46-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 移相器的结构设计与分析 | 第63-69页 |
| ·移相器结构设计 | 第63-64页 |
| ·移相器静态刚度及固有频率 | 第64-65页 |
| ·有限元分析 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 移相器的测试及校正 | 第69-79页 |
| ·移相器测试方案 | 第69-71页 |
| ·移相器三路测试及校正 | 第71-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第7章 总结与展望 | 第79-81页 |
| ·结论 | 第79-80页 |
| ·论文创新点 | 第80页 |
| ·研究展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-87页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第87-88页 |
| 指导教师及作者简介 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
