| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-34页 |
| ·研究背景 | 第13-21页 |
| ·纳米加工技术 | 第15页 |
| ·纳米操作技术 | 第15-21页 |
| ·介电泳纳米操作技术的研究现状 | 第21-26页 |
| ·介电泳纳米操作技术的国外研究现状 | 第21-26页 |
| ·介电泳纳米操作技术的国内研究现状 | 第26页 |
| ·AFM纳米操作技术的研究现状 | 第26-30页 |
| ·AFM纳米操作技术的国外研究现状 | 第27-30页 |
| ·AFM纳米操作技术的国内研究现状 | 第30页 |
| ·本文的研究目标与主要研究内容 | 第30-32页 |
| ·本文的结构安排 | 第32-34页 |
| 第2章 AFM探针诱导介电泳 | 第34-56页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·AFM简介 | 第34-40页 |
| ·AFM的工作原理 | 第35页 |
| ·AFM的结构 | 第35-37页 |
| ·AFM的工作模式 | 第37-39页 |
| ·AFM的特点与应用 | 第39-40页 |
| ·介电泳 | 第40-45页 |
| ·介电泳的基本原理 | 第40-42页 |
| ·介电泳力的模型 | 第42-44页 |
| ·介电泳的特点与应用 | 第44-45页 |
| ·AFM探针诱导介电泳的原理 | 第45页 |
| ·实验模型方案设计以及实验操作平台搭建 | 第45-48页 |
| ·AFM探针诱导介电泳的实验模型 | 第45-46页 |
| ·AFM探针诱导介电泳的实验操作平台 | 第46-48页 |
| ·实验仪器以及实验材料简介 | 第48-55页 |
| ·实验仪器简介 | 第48-52页 |
| ·实验材料以及样本处理 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第3章 AFM探针诱导介电泳的理论仿真与分析 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·聚苯乙烯小球的频谱特性分析 | 第56-59页 |
| ·球形粒子的频谱特性 | 第56-58页 |
| ·聚苯乙烯小球的频谱特性 | 第58-59页 |
| ·COMSOL理论仿真与分析 | 第59-63页 |
| ·电场系统仿真模型构建 | 第59-61页 |
| ·相关参数简介与仿真分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 面向AFM探针诱导介电泳实验的微流控芯片设计与加工 | 第64-73页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·微流控简介 | 第64-67页 |
| ·微流控芯片的构成及特点 | 第65-66页 |
| ·微流控芯片的常用制作技术 | 第66页 |
| ·微流控芯片的应用 | 第66-67页 |
| ·微流控芯片的设计与加工 | 第67-72页 |
| ·微流控芯片的系统设计 | 第67-69页 |
| ·PDMS微流控芯片的设计加工 | 第69-71页 |
| ·ITO玻璃部分微型溶液池的MEMS加工 | 第71-72页 |
| ·微流控芯片的系统组装与调试 | 第72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 AFM探针诱导介电泳的三维纳米操作与装配实验研究 | 第73-101页 |
| ·引言 | 第73页 |
| ·面向AFM的纳米目标快速自动化重定位方法研究 | 第73-87页 |
| ·重定位方法研究的意义与现状 | 第74-76页 |
| ·重定位方法的原理 | 第76-80页 |
| ·重定位方法误差分析与优化 | 第80-83页 |
| ·重定位应用举例 | 第83-87页 |
| ·实验结果的参数标定 | 第87-92页 |
| ·复杂三维纳米结构的体积计算方法探究 | 第87-89页 |
| ·体积计算方法的精度验证 | 第89-92页 |
| ·AFM探针诱导介电泳对聚苯乙烯纳米小球的操作与装配实验 | 第92-99页 |
| ·不同实验参数的验证结果与分析 | 第92-98页 |
| ·纳米点阵结构 | 第98-99页 |
| ·纳米线状结构 | 第99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 结论 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-116页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-119页 |
