宽波段光吸收法聚合物薄膜厚度在线检测技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-30页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| ·聚合物薄膜厚度测量方法 | 第16-22页 |
| ·离线测量方法 | 第16-18页 |
| ·在线测量方法 | 第18-22页 |
| ·相关技术研究现状 | 第22-27页 |
| ·光吸收法薄膜厚度测量技术研究现状 | 第22-26页 |
| ·光源波动补偿方法研究现状 | 第26-27页 |
| ·本研究领域存在的主要问题 | 第27-28页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 聚合物薄膜宽波段光吸收理论研究 | 第30-48页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·光的吸收定律 | 第30-32页 |
| ·自发辐射谱和吸收谱的线型 | 第32-34页 |
| ·波段光吸收对朗伯定律的影响研究 | 第34-40页 |
| ·波段光吸收抗误差能力研究 | 第40-43页 |
| ·宽波段薄膜厚度测量模型及仿真 | 第43-47页 |
| ·基于波段朗伯定律的薄膜厚度测量模型 | 第43-45页 |
| ·宽波段薄膜厚度测量仿真实验 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 聚合物薄膜厚度在线检测系统研制 | 第48-69页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·生产线上的薄膜厚度控制 | 第48-50页 |
| ·系统测量原理 | 第50-51页 |
| ·薄膜厚度在线测量模型 | 第50页 |
| ·基于数值分析的薄膜厚度反演方法 | 第50-51页 |
| ·在线检测系统设计 | 第51-61页 |
| ·系统整体设计 | 第51-53页 |
| ·扫描架设计 | 第53-54页 |
| ·光源与光功率计设计 | 第54-56页 |
| ·PLC 控制模块设计 | 第56-58页 |
| ·在线检测应用程序设计 | 第58-60页 |
| ·检测系统生产线现场安装 | 第60-61页 |
| ·扫描全程小标样动态标定 | 第61-68页 |
| ·光源与探测器相对位置对接收辐射影响 | 第61-66页 |
| ·标定方法及标定结果 | 第66-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第4章 宽波段光源波动补偿方法研究 | 第69-88页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·黑体辐射理论 | 第69-71页 |
| ·普朗克辐射定律 | 第69-70页 |
| ·斯蒂芬-玻尔兹曼定律 | 第70-71页 |
| ·维恩位移定律 | 第71页 |
| ·黑体光谱辐射出射度与全辐射出射度依赖关系研究 | 第71-76页 |
| ·相对误差意义下的线性回归方法 | 第76-78页 |
| ·基本原理 | 第76-78页 |
| ·基于参数搜索的拟合系数求解方法 | 第78页 |
| ·基于相对误差线性回归的补偿仿真实验 | 第78-87页 |
| ·黑体补偿仿真实验 | 第79-84页 |
| ·宽波段光源补偿仿真实验 | 第84-87页 |
| ·本章小结 | 第87-88页 |
| 第5章 实验研究及不确定度分析 | 第88-110页 |
| ·引言 | 第88页 |
| ·薄膜样品的获取及厚度测量 | 第88-91页 |
| ·薄膜光谱透过率测量 | 第91-92页 |
| ·宽波段薄膜厚度测量模型实验 | 第92-94页 |
| ·基于傅里叶光谱仪的光源相对光谱强度测量 | 第94-97页 |
| ·傅里叶光谱仪响应函数的标定 | 第94-95页 |
| ·光源相对光谱强度测量方法及结果 | 第95-97页 |
| ·光源波动补偿实验 | 第97-98页 |
| ·系统实验及性能分析 | 第98-104页 |
| ·系统的测量不确定度分析 | 第104-108页 |
| ·光源辐射功率的不确定度 | 第104-105页 |
| ·光功率计测量的不确定度 | 第105-106页 |
| ·其他因素的不确定度 | 第106-107页 |
| ·合成不确定度 | 第107-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 结论 | 第110-113页 |
| 参考文献 | 第113-123页 |
| 附录 | 第123-124页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第124-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
| 个人简历 | 第127页 |
