| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·太阳能电池的发展 | 第7-9页 |
| ·太阳能电池表面钝化的发展 | 第9-11页 |
| ·晶硅太阳能电池表面钝化研究方向 | 第11-12页 |
| ·本文的研究目的及内容 | 第12-13页 |
| 第二章 太阳能电池原理及其表面钝化原理 | 第13-19页 |
| ·太阳能电池原理及能量转换 | 第13-14页 |
| ·太阳电池的基本特性参数 | 第14-15页 |
| ·影响晶硅太阳能电池转换效率的因素及其表面钝化作用 | 第15-16页 |
| ·晶硅太阳能电池表面钝化技术及其原理 | 第16-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第三章 氧化铝薄膜的制备 | 第19-25页 |
| ·实验设备简介 | 第19-22页 |
| ·氧化铝薄膜制备过程及原理 | 第22-23页 |
| ·器件结构及实验样品 | 第23-24页 |
| ·本章总结 | 第24-25页 |
| 第四章 氧化铝薄膜的测试及分析 | 第25-40页 |
| ·C-V法测试原理 | 第25-29页 |
| ·不同膜厚条件下氧化铝薄膜透过率的研究 | 第29-30页 |
| ·不同制作条件下电容电压特性的研究 | 第30-34页 |
| ·不同制作条件下电压电导特性的研究 | 第34-36页 |
| ·不同制作条件下频率电容特性的研究 | 第36-38页 |
| ·不同浓度及膜厚条件下薄膜表面电阻的研究 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 总结 | 第40-41页 |
| 致谢 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-43页 |