| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·制备技术 | 第10-16页 |
| ·常见的制备技术 | 第10-12页 |
| ·溅射镀膜 | 第12-16页 |
| ·硬质薄膜 | 第16-18页 |
| ·硬质薄膜的定义 | 第16-17页 |
| ·硬质薄膜的分类 | 第17-18页 |
| ·硬质薄膜的增韧技术 | 第18-21页 |
| ·概述 | 第18-19页 |
| ·常见的增韧方法 | 第19-21页 |
| ·本论文的设计思路及研究内容 | 第21-24页 |
| ·设计思路 | 第21-22页 |
| ·研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 实验方法 | 第24-34页 |
| ·实验方案 | 第24-25页 |
| ·实验靶材及镀膜设备 | 第25-26页 |
| ·实验靶材 | 第25页 |
| ·镀膜设备 | 第25-26页 |
| ·薄膜的制备工艺 | 第26页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第26-28页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第26-27页 |
| ·能量散射光谱(EDS) | 第27页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第27页 |
| ·X射线光电子能谱仪(XPS) | 第27-28页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第28页 |
| ·薄膜的性能测试方法 | 第28-34页 |
| ·硬度模量的测试 | 第28-30页 |
| ·薄膜韧性的测试 | 第30-34页 |
| 第三章 Co含量对V-C-Co薄膜的结构的影响 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·薄膜的制备与表征 | 第34-35页 |
| ·薄膜性能表征 | 第35-38页 |
| ·化学成分与微结构 | 第35页 |
| ·相组成分析 | 第35-38页 |
| ·薄膜的增韧机理研究 | 第38-45页 |
| ·TEM测试 | 第38-39页 |
| ·XPS测试 | 第39-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 Co含量对V-C-Co薄膜的性能的影响 | 第46-54页 |
| ·硬度模量测试 | 第46页 |
| ·韧性测试 | 第46-53页 |
| ·塑性指标测试 | 第46-48页 |
| ·压痕测试 | 第48-50页 |
| ·划痕测试 | 第50-51页 |
| ·磨痕测试 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 基片偏压对V-C-Co薄膜的微结构及其性能的影响 | 第54-60页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·薄膜制备与表征 | 第54页 |
| ·实验结果与讨论 | 第54-58页 |
| ·成分与微结构 | 第54-56页 |
| ·力学性能测试 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第六章 结论 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60页 |
| ·课题创新点及下一步研究方向 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-72页 |
| 附录A 攻读学位期间科研产出 | 第72-74页 |