白光显微干涉表面形貌三维测量系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题来源 | 第9页 |
| ·课题的目的和意义 | 第9-10页 |
| ·表面三维形貌测量的发展概况 | 第10-14页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 2 系统原理及结构设计 | 第15-32页 |
| ·系统原理 | 第15-17页 |
| ·系统设计 | 第17-18页 |
| ·系统机械结构设计 | 第18-28页 |
| ·系统光路设计 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 位移计量系统与 PZT 局部线性采样策略 | 第32-41页 |
| ·光栅位移计量 | 第32-36页 |
| ·PZT 局部线性采样策略 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 三维形貌恢复算法与系统测量软件 | 第41-51页 |
| ·三维形貌恢复算法 | 第41-45页 |
| ·软件设计 | 第45-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 实验测试 | 第51-68页 |
| ·系统主要性能参数 | 第51-55页 |
| ·系统精度 | 第55-62页 |
| ·测量实例 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 6 总结与展望 | 第68-70页 |
| ·全文总结 | 第68-69页 |
| ·展望及今后的工作建议 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文 | 第74页 |
