PET薄膜在光阻干膜中的应用及性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·PET薄膜的现况 | 第9-11页 |
| ·PET薄膜在光阻干膜中的应用现况 | 第11-12页 |
| ·本课题研究重点 | 第12-13页 |
| 第二章 PET薄膜的生产工艺 | 第13-35页 |
| ·聚酯切片的性质 | 第14-17页 |
| ·聚酯的概念 | 第14页 |
| ·聚酯的性质 | 第14页 |
| ·聚酯结晶形态结构 | 第14-15页 |
| ·结晶度变化 | 第15-16页 |
| ·聚酯切片的性能指标 | 第16-17页 |
| ·聚酯切片的制备 | 第17-18页 |
| ·空白切片的生产方法 | 第17-18页 |
| ·空白切片的生产工艺 | 第18页 |
| ·母切片的生产工艺 | 第18页 |
| ·聚酯切片的干燥工艺 | 第18-20页 |
| ·聚酯切片的熔融挤出 | 第20-24页 |
| ·计量泵 | 第22-23页 |
| ·过滤器、模头 | 第23-24页 |
| ·铸片 | 第24-26页 |
| ·薄膜的纵向拉伸取向 | 第26-28页 |
| ·薄膜的横向拉伸取向 | 第28-30页 |
| ·薄膜后处理 | 第30-31页 |
| ·分切 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 光阻干膜用PET薄膜的主要性能 | 第35-46页 |
| ·PET薄膜的厚度均匀性 | 第35-40页 |
| ·PET薄膜雾度 | 第40-42页 |
| ·薄膜断裂强度与干热收缩率 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第四章 PET薄膜在光阻干膜生产中问题及试验研究 | 第46-57页 |
| ·PET薄膜张力不良 | 第46-49页 |
| ·PET薄膜张力不良概述 | 第46-47页 |
| ·生产与试验研究 | 第47页 |
| ·结果与讨论 | 第47-49页 |
| ·PET薄膜气泡对干膜生产的影响 | 第49-51页 |
| ·PET薄膜气泡概述 | 第49-50页 |
| ·生产与试验研究 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-51页 |
| ·PET薄膜表面处理对于涂层影响 | 第51-56页 |
| ·PET薄膜表面处理概述 | 第51-52页 |
| ·实验原材料及仪器设备 | 第52页 |
| ·结果及分析 | 第52-55页 |
| ·结论 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 附件 | 第62页 |
