磁过滤真空弧制备纳米薄膜装置的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第一章 阴极弧及磁过滤系统 | 第13-24页 |
| 第一节 阴极弧放电及其形态 | 第13-15页 |
| ·电弧历史发展 | 第13页 |
| ·弧斑的描述和阴极弧斑放电的基本特征 | 第13-15页 |
| 第二节 弧斑放电的机理分析 | 第15-19页 |
| ·电子的热场致发射理论模型 | 第15-16页 |
| ·电子爆裂发射模型 | 第16-17页 |
| ·磁场对弧斑运动的影响 | 第17-19页 |
| 第三节 真空电弧的击穿及电弧稳定性 | 第19-21页 |
| 第四节 磁过滤系统 | 第21-24页 |
| ·直线型结构 | 第21-22页 |
| ·曲线型结构 | 第22页 |
| ·90°弯曲磁过滤器 | 第22-24页 |
| 第二章 装置设计 | 第24-42页 |
| 引言 | 第24页 |
| 第一节 高压脉冲大电流电源的设计和搭建 | 第24-32页 |
| ·电源电路原理框图 | 第24页 |
| ·脉冲形成网络(PFNs) | 第24-27页 |
| ·高压脉冲大电流电源 | 第27-30页 |
| ·触发发生器的设计 | 第30-32页 |
| 第二节 电源装置试验 | 第32-35页 |
| ·平板型晶闸管(SCR)的开关功能测试 | 第32-33页 |
| ·利用电源对两碳棒进行尖端弧放电 | 第33-35页 |
| 第三节 放电系统与磁过滤弯管装置 | 第35-38页 |
| ·放电系统的结构 | 第35-37页 |
| ·磁过滤弯管装置 | 第37-38页 |
| ·透明石英玻璃筒电极装置 | 第38页 |
| 第四节 真空制膜系统 | 第38-41页 |
| 小结 | 第41-42页 |
| 第三章 磁过滤弯管中带电粒子的数值分析与计算 | 第42-60页 |
| 引言 | 第42页 |
| 第一节 电磁场的数值计算 | 第42-45页 |
| ·电磁场数值分析法的分类与比较 | 第42-44页 |
| ·有限元分析法的介绍 | 第44-45页 |
| 第二节 螺线管中带电粒子的运动方法的主要算法 | 第45-49页 |
| ·螺线管空间方程的算法 | 第45-46页 |
| ·螺线管中磁力线的算法 | 第46-49页 |
| 第三节 计算机中模拟带电粒子的运动轨迹 | 第49-59页 |
| ·90°螺线管的编程方程及图象 | 第49-52页 |
| ·螺线管中磁力线的编程方程及图象 | 第52-55页 |
| ·等离子运动轨迹的编程方程及图象 | 第55-59页 |
| 小结 | 第59-60页 |
| 第四章 空心阴极等离子体探针诊断 | 第60-67页 |
| 引言 | 第60页 |
| 第一节 空心阴极放电及其伏安特性曲线 | 第60-62页 |
| ·空心阴极放电 | 第60页 |
| ·伏安特性曲线 | 第60-62页 |
| 第二节 移动式单探针诊断空心阴极等离子体 | 第62-66页 |
| ·电压对等离子体的影响 | 第63-64页 |
| ·气压对等离子体的影响 | 第64-65页 |
| ·不同位置等离子体的分布 | 第65页 |
| ·Langmuir单探针Ⅰ—Ⅴ曲线拐点分析 | 第65-66页 |
| 小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
