基于UV-LIGA和EDM的三维微型腔制作工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题研究的背景 | 第10页 |
| ·微型腔制作中UV-LIGA工艺的研究现状 | 第10-13页 |
| ·微型腔制作中电火花加工技术的研究现状 | 第13-17页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 2 二维微型腔的制作工艺研究 | 第19-34页 |
| ·SU-8胶光刻工艺研究 | 第19-24页 |
| ·SU-8胶光刻工艺基础 | 第19-20页 |
| ·金属基板SU-8胶光刻工艺实验研究 | 第20-24页 |
| ·微电铸镍工艺研究 | 第24-32页 |
| ·微电铸镍工艺基础 | 第24-25页 |
| ·微电铸镍工艺实验研究 | 第25-32页 |
| ·二维微型腔的测量 | 第32-33页 |
| ·形状及尺寸测量 | 第32页 |
| ·侧壁表面粗糙度的测量 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 3 电火花加工理论基础 | 第34-45页 |
| ·电火花加工原理 | 第34-40页 |
| ·放电加工材料去除模型 | 第34-39页 |
| ·电火花加工的放电状态 | 第39-40页 |
| ·电火花加工中的电极损耗 | 第40-43页 |
| ·极性效应对电极损耗的影响 | 第40-42页 |
| ·电极材料对电极损耗的影响 | 第42-43页 |
| ·脉冲参数对电极损耗的影响 | 第43页 |
| ·工作液对电极损耗的影响 | 第43页 |
| ·微小面积电火花加工特征分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 三维微型腔的电火花成形加工实验研究 | 第45-58页 |
| ·侧壁倾斜结构微型腔制作的实验研究 | 第45-55页 |
| ·电火花成形加工方法 | 第45-47页 |
| ·工具电极的制作 | 第47-49页 |
| ·定位方案设计 | 第49-52页 |
| ·电火花重复修形 | 第52-55页 |
| ·圆弧结构微型腔的电火花成形加工实验探索 | 第55-57页 |
| ·工具电极的设计与制作 | 第55-56页 |
| ·圆弧结构微型腔的加工实验 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 5 影响电火花加工表面粗糙度的因素分析及实验研究 | 第58-68页 |
| ·影响表面粗糙度的脉冲参数 | 第58-60页 |
| ·峰值电流和脉冲宽度 | 第58-59页 |
| ·极间电容的影响 | 第59页 |
| ·开路电压的影响 | 第59-60页 |
| ·影响表面粗糙度的工艺因素 | 第60-66页 |
| ·材料物理特性 | 第60-61页 |
| ·加工极性 | 第61-63页 |
| ·小间隙条件下的加工稳定性 | 第63-64页 |
| ·加工前工具电极的表面粗糙度 | 第64-66页 |
| ·倾斜侧壁表面粗糙度的测量 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
