| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| ·引言 | 第9-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-17页 |
| ·共面波导研究概况 | 第12-13页 |
| ·MEMS技术的应用 | 第13-17页 |
| ·论文结构 | 第17-18页 |
| 第二章 微波滤波器的基本理论 | 第18-30页 |
| ·概述 | 第18-19页 |
| ·滤波器的基本理论 | 第19-26页 |
| ·归一化低通滤波器的一般概念 | 第19-22页 |
| ·最平坦低通原型滤波器 | 第22页 |
| ·切比雪夫低通原型滤波器 | 第22-23页 |
| ·椭圆函数低通原型滤波器 | 第23-24页 |
| ·由低通到带通的频率变换 | 第24-26页 |
| ·滤波器设计的基本步骤 | 第26页 |
| ·滤波器的设计参数 | 第26-28页 |
| ·几种新型滤波器 | 第28-30页 |
| 第三章 电磁带隙结构和共面波导结构 | 第30-48页 |
| ·电磁带隙(Electromagnetic badgap)结构简介 | 第30-33页 |
| ·电磁带隙结构的应用 | 第31-32页 |
| ·电磁带隙结构的分类 | 第32-33页 |
| ·共面波导结构简介 | 第33-38页 |
| ·共面波导结构相关参数 | 第34-35页 |
| ·共面波导结构传输线公式 | 第35-36页 |
| ·共面波导传输线数据 | 第36-37页 |
| ·衬底背面的接地效应 | 第37页 |
| ·衬底厚度效应 | 第37-38页 |
| ·有限宽度的接地金属面效应 | 第38页 |
| ·电磁带隙结构与共面波导结构的比较 | 第38页 |
| ·共面波导等效电路及其在微波电路中的应用 | 第38-48页 |
| ·哑铃型共面波导的LC等效电路 | 第38-41页 |
| ·RLC形式的共面波导等效电路 | 第41-43页 |
| ·铃型共面波导的∏型等效电路 | 第43-46页 |
| ·共面波导等效电路总结 | 第46-48页 |
| 第四章 共面波导微波滤波器的设计和制造过程 | 第48-66页 |
| ·共面波导结构微波滤波器的设计 | 第48-53页 |
| ·设计规划 | 第48-49页 |
| ·设计依据 | 第49-50页 |
| ·设计结果 | 第50-52页 |
| ·矩形缺陷对电路特性的影响 | 第52-53页 |
| ·其他因素对电路特性的影响 | 第53页 |
| ·MEMS工艺中的两个常用步骤 | 第53-57页 |
| ·清洗 | 第53-55页 |
| ·湿法清洗 | 第54-55页 |
| ·干法清洗 | 第55页 |
| ·刻蚀 | 第55-57页 |
| ·湿法刻蚀 | 第56-57页 |
| ·干法刻蚀 | 第57页 |
| ·共面波导结构微波滤波器的制造 | 第57-62页 |
| ·现有的工艺条件 | 第57-58页 |
| ·滤波器制作的工艺流程 | 第58-60页 |
| ·工艺流程中的说明 | 第60页 |
| ·滤波器测试 | 第60-61页 |
| ·测试结果分析 | 第61-62页 |
| ·共面波导结构的可调微波滤波器 | 第62-66页 |
| ·可调电容简介 | 第62-63页 |
| ·共面波导可调微波滤波器的研究 | 第63-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73页 |