微光学陀螺环的聚合物波导初步研究
摘要 | 第1-3页 |
Abstract | 第3-4页 |
目录 | 第4-6页 |
第一章 绪论 | 第6-16页 |
·课题背景 | 第6-7页 |
·惯性导航技术 | 第7-13页 |
·惯性导航的概念和惯性技术的发展 | 第7-9页 |
·惯性导航系统的基本原理 | 第9-11页 |
·光电惯性技术及发展 | 第11-13页 |
·微光学与激光直写技术 | 第13-14页 |
·本课题研究内容 | 第14-16页 |
第二章 微光学陀螺仪理论 | 第16-27页 |
·陀螺仪理论基础 | 第16-22页 |
·Sagnac效应 | 第16-19页 |
·互易性原理 | 第19-22页 |
·微光学陀螺仪原理 | 第22-27页 |
·干涉型光学陀螺(I-IOG)工作原理 | 第23-25页 |
·谐振型光学陀螺(R-IOG)工作原理 | 第25-27页 |
第三章 三维聚合物波导环设计方案 | 第27-39页 |
·聚合物波导材料简介 | 第27-31页 |
·聚合物材料特性 | 第27-28页 |
·聚合物波导的应用 | 第28-29页 |
·空间聚合物波导的形成 | 第29-31页 |
·聚合物波导环的三维结构 | 第31-36页 |
·三维波导环结构 | 第31-32页 |
·三维结构波导环制造 | 第32-34页 |
·简化的三维结构 | 第34-35页 |
·三维结构波导环制造 | 第35-36页 |
·三维波导环互易性结构 | 第36-37页 |
·纳米光纤的三维盘旋结构 | 第37-39页 |
第四章 激光直写聚合物波导系统 | 第39-45页 |
·激光直写系统介绍 | 第39-40页 |
·光源和滤波 | 第40-42页 |
·聚焦物镜和分辨率 | 第42页 |
·精密步进平台 | 第42-43页 |
·观测系统和现象分析 | 第43-45页 |
第五章 激光直写聚合物波导的工艺研究 | 第45-56页 |
·应用的聚合物材料特性 | 第45-47页 |
·EPOXY TECHNOLOGY紫外固化光学胶 | 第45页 |
·Norland紫外固化光学胶 | 第45-47页 |
·基底制作 | 第47-50页 |
·基片处理 | 第47-48页 |
·旋转涂胶 | 第48-49页 |
·曝光固定 | 第49-50页 |
·激光直写聚合物波导 | 第50-55页 |
·预曝光旋转层和混合紫外胶旋涂层 | 第50-52页 |
·对焦 | 第52页 |
·波导激光直写 | 第52-53页 |
·清洗 | 第53页 |
·波导瑕疵 | 第53-55页 |
·保护层覆盖 | 第55-56页 |
第六章 实验结果和数据处理 | 第56-62页 |
·光强对波导的影响 | 第56-58页 |
·物镜高度对波导的影响 | 第58-59页 |
·物镜孔径对波导的影响 | 第59-61页 |
·聚合物特性总结 | 第61-62页 |
第七章 总结和展望 | 第62-64页 |
·总结 | 第62-63页 |
·展望 | 第63-64页 |
参考文献 | 第64-66页 |
致谢 | 第66页 |