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微光学陀螺环的聚合物波导初步研究

摘要第1-3页
Abstract第3-4页
目录第4-6页
第一章 绪论第6-16页
   ·课题背景第6-7页
   ·惯性导航技术第7-13页
     ·惯性导航的概念和惯性技术的发展第7-9页
     ·惯性导航系统的基本原理第9-11页
     ·光电惯性技术及发展第11-13页
   ·微光学与激光直写技术第13-14页
   ·本课题研究内容第14-16页
第二章 微光学陀螺仪理论第16-27页
   ·陀螺仪理论基础第16-22页
     ·Sagnac效应第16-19页
     ·互易性原理第19-22页
   ·微光学陀螺仪原理第22-27页
     ·干涉型光学陀螺(I-IOG)工作原理第23-25页
     ·谐振型光学陀螺(R-IOG)工作原理第25-27页
第三章 三维聚合物波导环设计方案第27-39页
   ·聚合物波导材料简介第27-31页
     ·聚合物材料特性第27-28页
     ·聚合物波导的应用第28-29页
     ·空间聚合物波导的形成第29-31页
   ·聚合物波导环的三维结构第31-36页
     ·三维波导环结构第31-32页
     ·三维结构波导环制造第32-34页
     ·简化的三维结构第34-35页
     ·三维结构波导环制造第35-36页
   ·三维波导环互易性结构第36-37页
   ·纳米光纤的三维盘旋结构第37-39页
第四章 激光直写聚合物波导系统第39-45页
   ·激光直写系统介绍第39-40页
   ·光源和滤波第40-42页
   ·聚焦物镜和分辨率第42页
   ·精密步进平台第42-43页
   ·观测系统和现象分析第43-45页
第五章 激光直写聚合物波导的工艺研究第45-56页
   ·应用的聚合物材料特性第45-47页
     ·EPOXY TECHNOLOGY紫外固化光学胶第45页
     ·Norland紫外固化光学胶第45-47页
   ·基底制作第47-50页
     ·基片处理第47-48页
     ·旋转涂胶第48-49页
     ·曝光固定第49-50页
   ·激光直写聚合物波导第50-55页
     ·预曝光旋转层和混合紫外胶旋涂层第50-52页
     ·对焦第52页
     ·波导激光直写第52-53页
     ·清洗第53页
     ·波导瑕疵第53-55页
   ·保护层覆盖第55-56页
第六章 实验结果和数据处理第56-62页
   ·光强对波导的影响第56-58页
   ·物镜高度对波导的影响第58-59页
   ·物镜孔径对波导的影响第59-61页
   ·聚合物特性总结第61-62页
第七章 总结和展望第62-64页
   ·总结第62-63页
   ·展望第63-64页
参考文献第64-66页
致谢第66页

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