| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·原子力显微镜的发展历程 | 第9-13页 |
| ·显微镜的发展史 | 第9-10页 |
| ·扫描探针显微数的发展史 | 第10-13页 |
| ·原子力显微镜的突出优点 | 第13-14页 |
| ·原子力显微镜的功能应用 | 第14-17页 |
| ·功能之一—表面形貌及其表面物化属性的表征 | 第14-15页 |
| ·功能之二—纳米加工 | 第15-17页 |
| ·功能之三—弱力表征 | 第17页 |
| ·本课题的主要任务 | 第17-18页 |
| 2 基本原理 | 第18-33页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·AFM 的物理机理 | 第18-23页 |
| ·原子间力 | 第18-19页 |
| ·分子间力 | 第19-20页 |
| ·与AFM 有关的力 | 第20-23页 |
| ·AFM 的成像原理 | 第23-24页 |
| ·针尖与样品原子间相互作用力的理论模型 | 第24-28页 |
| ·针尖与样品表面之间的物理模型 | 第24-25页 |
| ·针尖与样品表面原子之间的力模型 | 第25-28页 |
| ·AFM 的成像模式 | 第28-30页 |
| ·接触成像模式(Contact Mode) | 第28-29页 |
| ·非接触成像模式( Non-contact Mode ) | 第29页 |
| ·轻敲模式 | 第29-30页 |
| ·AFM 的弱力检测模式 | 第30-32页 |
| ·光偏转法 | 第30-31页 |
| ·隧道电流检测法 | 第31-32页 |
| ·AFM 的操作模式 | 第32-33页 |
| ·恒力模式 | 第32页 |
| ·恒高模式 | 第32页 |
| ·恒梯度模式 | 第32-33页 |
| 3 AFM 系统 | 第33-46页 |
| ·整机系统构造 | 第33-38页 |
| ·镜体 | 第34-35页 |
| ·数据采集系统 | 第35-36页 |
| ·扫描驱动系统 | 第36-37页 |
| ·计算机工作站 | 第37-38页 |
| ·整机系统技术指标 | 第38页 |
| ·悬臂系统 | 第38-41页 |
| ·微悬臂的特点 | 第38-39页 |
| ·自制微悬臂的结构 | 第39-40页 |
| ·悬臂调节装置 | 第40页 |
| ·自制微悬臂系统的优点及缺点 | 第40-41页 |
| ·压电陶瓷扫描器 | 第41-44页 |
| ·AFM.IPC-2088 型机的特点 | 第44-46页 |
| 4 AFM 技术 | 第46-58页 |
| ·AFM 针尖 | 第46-49页 |
| ·AFM 针尖的制备技术 | 第46-48页 |
| ·针尖结构对图象的影响 | 第48-49页 |
| ·工作环境的影响及其选取 | 第49-50页 |
| ·AFM 系统的参数优化设置 | 第50-56页 |
| ·进给系统参数及其调节 | 第50-51页 |
| ·信号选取参数的影响 | 第51-56页 |
| ·图像处理技术 | 第56-58页 |
| 5 AFM 在分子结构形态学方面的应用研究 | 第58-67页 |
| ·AFM 应用于分子结构形态学方面的优势 | 第58-59页 |
| ·分子结构形态学的AFM 研究现状 | 第59页 |
| ·AFM.IPC-2088 在小分子结构形态学方面的部分应用研究 | 第59-65页 |
| ·仪器精度及性能分析 | 第59-60页 |
| ·磁控溅射样品(一)—TiN 薄膜 | 第60-62页 |
| ·磁控溅射样品(二)—ZnO 薄膜 | 第62-64页 |
| ·神秘样品(三)—聚酰亚胺 | 第64-65页 |
| ·小分子微观结构的AFM 实验要点讨论 | 第65-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 附录 | 第72-73页 |
| 独创性声明 | 第73页 |
| 学位论文版权使用拭授权书 | 第73页 |