3英寸双面YBCO薄膜热场及膜厚分布研究
| 第一章 概述 | 第1-19页 |
| 1 -1超导材料研究的现状和意义 | 第6-10页 |
| 1 -2高温超导薄膜的制备方法 | 第10-14页 |
| 1 -3高温超导薄膜国内外研究现状 | 第14-16页 |
| 1 -4大面积双面超导薄膜的制备方法 | 第16-18页 |
| 1 -5本论文研究的内容和目标 | 第18-19页 |
| 第二章 YBCO高温超导靶材的烧结 | 第19-35页 |
| 2 -1前言 | 第19-20页 |
| 2 -2试验过程 | 第20-25页 |
| 2 -3试验结果分析 | 第25-34页 |
| 2 -4小结 | 第34-35页 |
| 第三章 3英寸双面高温超导薄膜膜厚均匀性分析 | 第35-47页 |
| 3 -1倒筒靶直流溅射设备的膜厚分布模型 | 第35-41页 |
| 3 -2试验结果及分析 | 第41-46页 |
| 3 -3小结 | 第46-47页 |
| 第四章 加热器热场分布研究 | 第47-56页 |
| 4 -1前言 | 第47-48页 |
| 4 -2热场分布的理论研究 | 第48-52页 |
| 4 -33英寸加热器设计 | 第52-53页 |
| 4 -4试验结果 | 第53-55页 |
| 4 -5小结 | 第55-56页 |
| 第五章 3英寸双面超导薄膜的试制 | 第56-59页 |
| 5 -1前言 | 第56页 |
| 5 -2试验过程及结果 | 第56-58页 |
| 5 -3小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
