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三维抗反射结构的构筑及其性能研究

第1章 绪论第1-42页
   ·抗反射概述第10-15页
     ·表面抗反射的种类第11页
     ·单层膜法第11-12页
     ·多层膜法第12-13页
     ·微结构法第13-15页
   ·抗反射微结构的构筑第15-27页
     ·二维抗反射微结构的构筑第16-25页
       ·电子束刻蚀第16-17页
       ·自组装有序纳米球作为构筑掩膜第17-19页
       ·金属纳米粒子做掩膜第19-20页
       ·聚合物结构做掩膜第20-21页
       ·贵金属纳米粒子催化刻蚀法第21-23页
       ·无掩膜刻蚀法第23-25页
     ·三维抗反射结构的构筑第25-27页
   ·抗反射结构的应用第27-30页
     ·在有机发光器件上的应用第27-28页
     ·在太阳能电池上的应用第28-29页
     ·在光学传感器上的应用第29-30页
   ·本论文的研究思路及主要研究内容第30-32页
 参考文献第32-42页
第2章 大面积制备超疏水抗反射微纳米复合硅表面结构第42-66页
   ·引言第42-44页
   ·实验部分第44-46页
     ·试剂与仪器第44页
     ·微纳复合硅表面结构的制备第44-45页
     ·实验步骤第45-46页
       ·硅锥结构的制备第45-46页
       ·银纳米粒子的沉积第46页
       ·银催化刻蚀第46页
       ·将硅表面结构转移到聚合物表面第46页
   ·结果与讨论第46-61页
     ·硅锥结构的制备第46-49页
     ·硅锥表面银纳米粒子的沉积第49-51页
     ·银纳米粒子催化刻蚀硅,制备微纳复合硅锥结构第51-55页
     ·微纳复合结构的抗反射性能第55-57页
     ·微纳复合结构的超疏水性能第57-60页
     ·翻制聚合物微纳复合疏水表面结构第60-61页
   ·本章小结第61-62页
 参考文献第62-66页
第3章 抗反射纳米异质结的构筑及其应用第66-92页
   ·引言第66-67页
   ·实验部分第67-70页
     ·试剂与仪器第67-68页
     ·三维 ZnO/Si 微纳复合抗反射结构的制备第68页
     ·实验步骤第68-70页
       ·SU8 点阵结构的制备第68-69页
       ·SiO_2点阵结构的制备第69页
       ·硅锥点阵结构的制备第69页
       ·在硅锥表面制备 ZnO 纳米棒第69-70页
   ·结果与讨论第70-85页
     ·SU8 点阵结构的制备第70-71页
     ·刻蚀制备二氧化硅点阵结构第71-72页
     ·硅锥结构的制备第72-73页
     ·硅锥表面氧化锌纳米棒的制备第73-77页
     ·ZnO/Si 微纳复合异质结结构的抗反射性能研究第77-78页
     ·光电性能测试第78-80页
     ·催化降解染料分子第80-83页
     ·ZnO/Si 微纳复合结构的表面清洁性质第83-85页
   ·本章小结第85-87页
 参考文献第87-92页
第4章 Au/TiO_2/Si 三维复合结构的制备及其催化性能研究第92-113页
   ·引言第92-93页
   ·实验部分第93-95页
     ·试剂与仪器第93-94页
     ·三维 TiO_2/Si 微纳复合抗反射结构的制备第94-95页
     ·实验步骤第95页
       ·SU8 点阵结构的制备第95页
       ·SiO_2点阵结构的制备第95页
       ·硅锥点阵结构的制备第95页
       ·在硅锥表面制备 TiO_2纳米棒第95页
   ·结果与讨论第95-104页
     ·TiO_2纳米棒结构的制备第95-98页
     ·TiO_2/Si 复合结构的抗反射性能检测第98-100页
     ·TiO_2纳米棒表面沉积 Au 纳米粒子第100-102页
     ·催化降解染料分子第102-104页
   ·本章小结第104-106页
 参考文献第106-113页
攻读博士学位期间所发表的论文第113-115页
作者简历第115-116页
致谢第116-118页
摘要第118-120页
Abstract第120-122页

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