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彩色滤光片用光阻剂的配方及工艺研究

致谢第1-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7-8页
第8-11页
1 绪论第11-15页
2 彩色滤光片及彩色颜料光阻剂第15-25页
   ·彩色滤光片的制备方法第15-19页
     ·染色法第15-16页
     ·颜料分散法第16页
     ·印刷法第16-17页
     ·电沉积法第17-18页
     ·喷墨法第18页
     ·彩色滤光片制备方法的比较第18-19页
   ·颜料分散法用光阻剂第19-22页
     ·颜料分散法用光阻剂的组成第20-21页
     ·颜料分散法制备彩色滤光片的工艺第21-22页
   ·性能检测指标第22-25页
     ·光阻剂性能检测指标第22-23页
     ·像素光阻的性能检测指标第23-25页
3 实验部分第25-29页
   ·碱可溶性树脂的合成第25-26页
   ·制备红色滤光片的工艺第26-27页
   ·检测第27-29页
     ·碱可溶性树脂的检测第27页
     ·红色光阻剂的性能检测第27-28页
     ·红色像素光阻的性能检测第28-29页
4 结果与讨论第29-60页
   ·碱可溶性树脂第29-39页
     ·分子结构第29-37页
     ·十二硫醇对分子量的影响第37-38页
     ·酸值测定及其对溶解性的影响第38-39页
   ·A、B、C三系列碱可溶性树脂配制的光阻剂性能比较第39-42页
     ·A系列碱可溶性树脂配制的光阻剂第40页
     ·B系列碱可溶性树脂配制的光阻剂第40-41页
     ·C系列碱可溶性树脂配制的光阻剂第41-42页
   ·一种性能优良的光阻剂配方第42-52页
     ·解析度第42-47页
     ·耐高温性第47-48页
     ·耐化性第48-50页
     ·光阻剂的存储稳定性第50-51页
     ·其他性能第51-52页
   ·几种组分对光阻剂成膜性能的影响第52-56页
     ·光固化树脂对成膜性能的影响第52-54页
     ·环氧树脂对耐候性的影响第54-55页
     ·润湿剂对成膜性能的影响第55-56页
   ·工艺细节对成片的影响第56-60页
     ·掩模版距离对解析度的影响第56-58页
     ·膜厚对色度的影响第58页
     ·曝光量对交联程度的影响第58-60页
5 结论第60-61页
参考文献第61-63页
作者简历第63-65页
学位论文数据集第65页

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