致谢 | 第1-6页 |
中文摘要 | 第6-7页 |
ABSTRACT | 第7-8页 |
序 | 第8-11页 |
1 绪论 | 第11-15页 |
2 彩色滤光片及彩色颜料光阻剂 | 第15-25页 |
·彩色滤光片的制备方法 | 第15-19页 |
·染色法 | 第15-16页 |
·颜料分散法 | 第16页 |
·印刷法 | 第16-17页 |
·电沉积法 | 第17-18页 |
·喷墨法 | 第18页 |
·彩色滤光片制备方法的比较 | 第18-19页 |
·颜料分散法用光阻剂 | 第19-22页 |
·颜料分散法用光阻剂的组成 | 第20-21页 |
·颜料分散法制备彩色滤光片的工艺 | 第21-22页 |
·性能检测指标 | 第22-25页 |
·光阻剂性能检测指标 | 第22-23页 |
·像素光阻的性能检测指标 | 第23-25页 |
3 实验部分 | 第25-29页 |
·碱可溶性树脂的合成 | 第25-26页 |
·制备红色滤光片的工艺 | 第26-27页 |
·检测 | 第27-29页 |
·碱可溶性树脂的检测 | 第27页 |
·红色光阻剂的性能检测 | 第27-28页 |
·红色像素光阻的性能检测 | 第28-29页 |
4 结果与讨论 | 第29-60页 |
·碱可溶性树脂 | 第29-39页 |
·分子结构 | 第29-37页 |
·十二硫醇对分子量的影响 | 第37-38页 |
·酸值测定及其对溶解性的影响 | 第38-39页 |
·A、B、C三系列碱可溶性树脂配制的光阻剂性能比较 | 第39-42页 |
·A系列碱可溶性树脂配制的光阻剂 | 第40页 |
·B系列碱可溶性树脂配制的光阻剂 | 第40-41页 |
·C系列碱可溶性树脂配制的光阻剂 | 第41-42页 |
·一种性能优良的光阻剂配方 | 第42-52页 |
·解析度 | 第42-47页 |
·耐高温性 | 第47-48页 |
·耐化性 | 第48-50页 |
·光阻剂的存储稳定性 | 第50-51页 |
·其他性能 | 第51-52页 |
·几种组分对光阻剂成膜性能的影响 | 第52-56页 |
·光固化树脂对成膜性能的影响 | 第52-54页 |
·环氧树脂对耐候性的影响 | 第54-55页 |
·润湿剂对成膜性能的影响 | 第55-56页 |
·工艺细节对成片的影响 | 第56-60页 |
·掩模版距离对解析度的影响 | 第56-58页 |
·膜厚对色度的影响 | 第58页 |
·曝光量对交联程度的影响 | 第58-60页 |
5 结论 | 第60-61页 |
参考文献 | 第61-63页 |
作者简历 | 第63-65页 |
学位论文数据集 | 第65页 |