| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-29页 |
| ·飞秒激光技术的发展 | 第13-16页 |
| ·飞秒激光材料微细加工研究进展 | 第16-27页 |
| ·飞秒激光微细加工机理与理论研究进展 | 第17-21页 |
| ·飞秒激光烧蚀材料的实验与微细加工工艺研究进展 | 第21-27页 |
| ·论文的主要工作 | 第27-29页 |
| 2 飞秒激光烧蚀金属材料的理论基础与数值模拟 | 第29-49页 |
| ·飞秒激光与金属材料作用的一般物理过程 | 第29-31页 |
| ·飞秒激光烧蚀金属材料的各种物理现象与过程 | 第29-31页 |
| ·飞秒激光烧蚀材料过程的热机制与非热机制及其转换 | 第31页 |
| ·飞秒激光烧蚀金属材料的双温模型与分子动力学模拟方法 | 第31-38页 |
| ·双温模型 | 第31-35页 |
| ·分子动力学模拟 | 第35-38页 |
| ·飞秒激光烧蚀金属镍的结合双温模型的分子动力学模拟 | 第38-48页 |
| ·模拟步骤 | 第38-39页 |
| ·模拟结果与分析 | 第39-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 3 飞秒激光微细加工实验系统 | 第49-58页 |
| ·掺钛蓝宝石飞秒激光器 | 第49-51页 |
| ·微细加工光路装置 | 第51-55页 |
| ·三维数控精密微加工工作台与控制系统 | 第55-56页 |
| ·微细加工系统工作原理 | 第56页 |
| ·小结 | 第56-58页 |
| 4 飞秒激光无晶化微细加工非晶合金的实验研究 | 第58-74页 |
| ·实验材料 | 第58-61页 |
| ·非晶合金结构特点 | 第58-59页 |
| ·非晶合金的性能特点 | 第59-60页 |
| ·非晶合金微加工中的问题 | 第60-61页 |
| ·实验方法 | 第61-65页 |
| ·实验样品制备 | 第61页 |
| ·实验结果检测分析方法 | 第61-62页 |
| ·飞秒激光烧蚀实验 | 第62-65页 |
| ·实验结果与分析 | 第65-73页 |
| ·飞秒激光烧蚀非晶合金的阈值 | 第65-66页 |
| ·飞秒激光烧蚀非晶合金的表面成分变化与形貌 | 第66-71页 |
| ·微观精细结构的 TEM 分析与无晶化微细加工条件 | 第71-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 5 飞秒激光直接制备金属微型零件及应用 | 第74-99页 |
| ·飞秒激光微细加工不锈钢与镍的参数优化与微型悬臂梁制备 | 第74-84页 |
| ·飞秒激光微细加工不锈钢的参数优化与微型悬臂梁制备 | 第75-81页 |
| ·金属镍飞秒激光微细加工参数优化与微型悬臂梁制备 | 第81-84页 |
| ·金属微型悬臂梁的微腐蚀疲劳试验 | 第84-94页 |
| ·不锈钢微型悬臂梁的微腐蚀疲劳性能测试实验 | 第85-90页 |
| ·镍微型悬臂梁的微腐蚀疲劳性能测试实验 | 第90-93页 |
| ·金属微型悬臂梁微腐蚀疲劳测试结论 | 第93-94页 |
| ·较复杂不锈钢微型图案与零件的飞秒激光制备 | 第94-98页 |
| ·飞秒激光制备不锈钢微型标记与微齿轮 | 第94-96页 |
| ·飞秒激光制备用于PLD 实验的微孔不锈钢掩模板 | 第96-98页 |
| ·小结 | 第98-99页 |
| 6 总结与展望 | 第99-102页 |
| ·主要研究内容与结论 | 第99-100页 |
| ·主要特色与创新 | 第100页 |
| ·需要更深入研究的内容与展望 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-104页 |
| 参考文献 | 第104-118页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第118-120页 |
| 附录2 攻读博士学位期间申请专利目录 | 第120页 |
