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飞秒激光加工微光学元件

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-18页
   ·飞秒激光加工的应用第8-15页
     ·飞秒激光透明材料改性第8-11页
     ·飞秒激光双光子聚合第11-15页
   ·微光学概述第15-17页
     ·二元光学第15-17页
   ·论文的主要工作第17-18页
第二章 Dammann的原理与设计第18-26页
   ·Dammann 光栅的原理第18-19页
   ·Dammann 光栅的设计第19-22页
     ·设计原理第19-21页
     ·模拟退火算法第21-22页
   ·部分设计结果第22-25页
   ·本章小结第25-26页
第三章 利用飞秒激光在玻璃内部制作Dammann光栅第26-36页
   ·飞秒激光加工装置第26-27页
   ·飞秒激光加工工艺的研究第27-29页
     ·激光功率对改性区域的影响第27-28页
     ·扫描速度对改性区域的影响第28-29页
   ·Dammann 光栅的加工结果第29-35页
     ·初步加工结果第29-30页
     ·误差分析第30-32页
     ·改进后的加工结果第32-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 双光子聚合法制作光学元件工艺研究第36-50页
   ·双光子聚合实验装置第36-39页
     ·飞秒激光系统第36-37页
     ·监测系统第37-38页
     ·机械位移台第38-39页
   ·双光子聚合材料第39-40页
   ·双光子聚合加工工艺的研究第40-43页
     ·曝光时间对分辨率的影响第40-41页
     ·激光功率对分辨率的影响第41-42页
     ·扫描速度对分辨率的影响第42-43页
   ·位相光栅的制作第43-45页
   ·一维Dammann 光栅的制作第45-49页
     ·重叠量对光栅表面质量的影响第45-46页
     ·制作结果第46-49页
   ·本章小结第49-50页
第五章 总结第50-51页
参考文献第51-55页
发表论文和科研情况说明第55-56页
致谢第56页

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