摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-7页 |
第一章 绪论 | 第7-18页 |
·飞秒激光加工的应用 | 第8-15页 |
·飞秒激光透明材料改性 | 第8-11页 |
·飞秒激光双光子聚合 | 第11-15页 |
·微光学概述 | 第15-17页 |
·二元光学 | 第15-17页 |
·论文的主要工作 | 第17-18页 |
第二章 Dammann的原理与设计 | 第18-26页 |
·Dammann 光栅的原理 | 第18-19页 |
·Dammann 光栅的设计 | 第19-22页 |
·设计原理 | 第19-21页 |
·模拟退火算法 | 第21-22页 |
·部分设计结果 | 第22-25页 |
·本章小结 | 第25-26页 |
第三章 利用飞秒激光在玻璃内部制作Dammann光栅 | 第26-36页 |
·飞秒激光加工装置 | 第26-27页 |
·飞秒激光加工工艺的研究 | 第27-29页 |
·激光功率对改性区域的影响 | 第27-28页 |
·扫描速度对改性区域的影响 | 第28-29页 |
·Dammann 光栅的加工结果 | 第29-35页 |
·初步加工结果 | 第29-30页 |
·误差分析 | 第30-32页 |
·改进后的加工结果 | 第32-35页 |
·本章小结 | 第35-36页 |
第四章 双光子聚合法制作光学元件工艺研究 | 第36-50页 |
·双光子聚合实验装置 | 第36-39页 |
·飞秒激光系统 | 第36-37页 |
·监测系统 | 第37-38页 |
·机械位移台 | 第38-39页 |
·双光子聚合材料 | 第39-40页 |
·双光子聚合加工工艺的研究 | 第40-43页 |
·曝光时间对分辨率的影响 | 第40-41页 |
·激光功率对分辨率的影响 | 第41-42页 |
·扫描速度对分辨率的影响 | 第42-43页 |
·位相光栅的制作 | 第43-45页 |
·一维Dammann 光栅的制作 | 第45-49页 |
·重叠量对光栅表面质量的影响 | 第45-46页 |
·制作结果 | 第46-49页 |
·本章小结 | 第49-50页 |
第五章 总结 | 第50-51页 |
参考文献 | 第51-55页 |
发表论文和科研情况说明 | 第55-56页 |
致谢 | 第56页 |